MEMS ওয়েফারগুলোকে নোংরা না হওয়ার অবস্থায় শুকানো
MEMS সেন্সর তৈরি করার সময় আপনি চান না যে কোনো ধূলিকণা বা রাসায়নিক পদার্থ ওয়েফারটিকে নষ্ট করে দেয়। কিন্তু ওই পৃষ্ঠগুলো থেকে আর্দ্রতা ও দ্রাবকগুলো অপসারণ করা খুবই কঠিন।
দীর্ঘদিন ধরে মানুষরা শুধুমাত্র ফোর্সড-এয়ার ওভেন ব্যবহার করে আসছে। কিন্তু এগুলো অনেক শক্তি খরচ করে; আর বাতাস ব্যবহার করার ফলে ধূলিকণাগুলো আরও বেশি জমে যায়।
এই কারণেই আমরা শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড (IR) হিটার ব্যবহার করি। এখানে বাতাস গরম করার পরিবর্তে রেডিয়েশন ব্যবহৃত হয়। ফলে কোনো ফ্যান বা বাতাস নেই; আর দূষক পদার্থও কম থাকে।
এটা আসলে কীভাবে কাজ করে?
ভাবুন এভাবে: IR হিটারগুলো ঘরের বাতাস নিয়ে চিন্তা করে না। এগুলো সরাসরি জলের অণু ও দ্রাবকগুলোকে গরম করে। ফোটনগুলো পৃষ্ঠে আঘাত করে অণুগুলোকে কম্পিত করে; ফলে তরলটি অদৃশ্য হয়ে যায়। এটা প্রায় তৎক্ষণাৎ ঘটে। আপনি কোনো বিশাল ধাতব বাক্স গরম করার জন্য শক্তি নষ্ট করছেন না; বরং শুধুমাত্র ওয়েফারটিকেই গরম করছেন। এটা শক্তি ব্যবহারের জন্য অনেক ভালো উপায়।
“সবুজ” দিকটি
শিল্পটি লেড-ফ্রি ও “সবুজ” মানদণ্ডের দিকে এগিয়ে যাচ্ছে। IR হিটারগুলো এই লক্ষ্যে অনুকূল। পুরানো ধরনের ড্রায়িং এজেন্টগুলোর মতো এখানে কোনো রাসায়নিক পদার্থ ব্যবহৃত হয় না। হিটিং ইলেমেন্ট থেকে কোনো VOC নির্গত হয় না। এটা হলো পয়েন্ট A থেকে পয়েন্ট B-তে শুধুমাত্র পরিষ্কার শক্তি প্রবাহিত হওয়া।
কিছু সীমাবদ্ধতা
কিন্তু এখানেই সমস্যা রয়েছে। উচ্চ-শক্তির IR ল্যাম্পগুলো অত্যন্ত শক্তিশালী—যা গতির জন্য ভালো। কিন্তু এগুলো খুবই আক্রমণাত্মক হতে পারে।
যদি আপনি হঠাৎ বিদ্যুৎ চালু করেন, তাহলে তাপমাত্রা হঠাৎ বৃদ্ধি পেয়ে ওয়েফারটি নষ্ট হয়ে যেতে পারে। এটা এড়াতে PID কন্ট্রোলার ব্যবহার করা দরকার।
আর একটি সতর্কবার্তা: হিটারগুলোর কোয়ার্টজ আবরণগুলো খুবই ভঙ্গুর। যন্ত্র পরিবর্তনের সময় একটু অসাবধানতা হলেই ল্যাম্পটি নষ্ট হয়ে যেতে পারে।
আমরা এই সিস্টেমগুলোকে আপনার পুরানো কনভেকশন সিস্টেমের সাথে সংযুক্ত করার জন্য ডিজাইন করেছি। এতে আপনার ওয়েফারগুলো দ্রুত প্রক্রিয়াজাত হবে, আর আপনার প্রক্রিয়াটিও অনেক পরিষ্কার হবে। শুধুমাত্র নিশ্চিত হয়ে নিন যে আপনার কুলিং সিস্টেমটি ল্যাম্প থেকে নির্গত তাপ সামলাতে পারে।