
অপচয়ী পদ্ধতিগুলো বন্ধ করুন: কেন UHP ইনফ্রারেড পদ্ধতিটিই সবচেয়ে ভালো।
আসুন, আমরা কীভাবে ওয়েফারগুলোকে উত্তপ্ত করি সে বিষয়ে আলোচনা করি। দীর্ঘদিন ধরেই গরম বায়ু ব্যবহার করেই ওয়েফারগুলোকে উত্তপ্ত করা হতো। কিন্তু যারা ফ্যাব ফ্লোরে কাজ করেছেন, তারা এর অসুবিধাগুলো ভালোভাবেই জানেন। ফর্সড কনভেকশন পদ্ধতিতে আসলে বায়ুকে উত্তপ্ত করে ওয়েফারে তাপ পৌঁছানোর চেষ্টা করা হয়। এটা খুবই ধীর প্রক্রিয়া।
UHP ইনফ্রারেড ল্যাম্পগুলো এই সমস্যাটিকে দূর করে। এগুলো মধ্যবর্তী উপায় ব্যবহার না করে সরাসরি রেডিয়েণ্ট এনার্জি ব্যবহার করে ওয়েফারকে উত্তপ্ত করে। এটা খুবই দ্রুত প্রক্রিয়া।
গরম বায়ু ব্যবহার করলে ওয়েফারকে উত্তপ্ত করতে অনেক সময় লাগে; আবার ঠান্ডা হতেও অনেক সময় লাগে। এর ফলে প্রতিটি ব্যাচ তৈরি করতে অতিরিক্ত সময় লাগে। কিন্তু UHP ল্যাম্প ব্যবহার করলে এটা প্রায় তৎক্ষণাৎ সম্ভব হয়। আমরা এগুলোকে এমনভাবে ডিজাইন করেছি যাতে অল্প জায়গায়ই অনেক শক্তি সংরক্ষিত থাকে; ফলে কয়েক সেকেন্ডের মধ্যেই ওয়েফারকে উত্তপ্ত করা যায়।
যখন এই সময়টা কমে যায়, তখন প্রতি ঘণ্টায় উৎপাদিত ওয়েফারের পরিমাণ বৃদ্ধি পায়। আর সবচেয়ে ভালো ব্যাপার হলো, এর জন্য ক্লিনরুমে আরও জায়গা দরকার হয় না।
আর এখানেই আরেকটি সমস্যা রয়েছে—বায়ু চালানোর ফলে কণাগুলো ওয়েফারের উপর ছড়িয়ে যায়। এটা একটি ঝুঁকি। আমরা আমাদের ল্যাম্পগুলোর জন্য উচ্চ-পরিশোধিত সিনথেটিক কোয়ার্টজ ব্যবহার করি; যাতে কোনো গ্যাস বের না হয়। উচ্চ-গতির বায়ু না থাকার ফলে কণাগুলো অপ্রয়োজনীয় জায়গায় যায় না। ফলে পরিবেশটাও পরিষ্কার থাকে।
সত্যি বলতে, রেডিয়েণ্ট হিট কোনো “জাদুর ছড়ি” নয়। এটা নির্দিষ্ট দিকেই কাজ করে। বায়ু কোনো জিনিসকে ঘিরে থাকে, কিন্তু ইনফ্রারেড বর্ণালী হলো একটি “টর্চলাইট”-এর মতো। যদি ল্যাম্পটির অবস্থান কয়েক মিলিমিটার ভুল হয়, তাহলে তাপমাত্রার পার্থক্য দেখা দেয়—অর্থাৎ, কিছু জায়গায় তাপ কম থাকে। তাই ওয়েফারে সমানভাবে তাপ ছড়িয়ে দেওয়ার জন্য রিফ্লেক্টরগুলোকে ঠিকভাবে সাজানো প্রয়োজন।
কিন্তু যদি আপনার কাছে এমন একটি নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা থাকে যা দ্রুত শক্তি পরিবর্তন করতে পারে, তাহলে ফলাফলটা অসাধারণ হবে। আপনি দ্রুত তাপ পাবেন, পরিবেশটাও পরিষ্কার থাকবে, আর কাজটাও আপনার প্রয়োজনীয় গতিতে সম্পন্ন হবে।