In der Produktion ist das Spülen noch nicht das Ende des Prozesses. Es handelt sich dabei vielmehr um die letzte Station, bevor Kontaminationen eindringen können. Wasserflecken, langsame Trocknungszeiten sowie Hotspots sind nicht nur unschön – sie führen auch zu geringerer Ausbeute und unplanmäßigen Stillständen. Nach dem Spülen muss die Wafer schnell, sauber und zuverlässig trocknen – ohne dass dabei Partikel entstehen oder der Photoresist beeinträchtigt wird.
Was technisch wichtig ist:
Wir haben diese Lampe nach einem bestimmten Prinzip konstruiert: Energie soll schnell bereitgestellt werden – und dabei unter Kontrolle bleiben. Kurzwellige Infrarotelemente sorgen für eine hohe Leistungsdichte, wodurch das Wasser schnell verdunstet. Gleichzeitig sorgt die Geometrie des Reflektors sowie die Luftstromführung dafür, dass die Temperatur gleichmäßig bleibt. So bleibt die Temperatur auf dem Wafer bei ±0,1°C – somit erhält jeder Chip die gleiche Wärmebelastung.
Die heiße Zone bleibt vom Reinraum isoliert. Dadurch bleibt die Kontrolle über Partikel gewährleistet, und die Lampe ist auch für Bereiche der Klassen 1–100 geeignet. Bei der Verwendung von Photoresisten bleibt die Reproduzierbarkeit hoch, da die Lampe schnell zum gewünschten Wert anheizt und diesen auch beibehält.
Warum die Lampe in der Produktion funktioniert:
Bei 7×24-Stunden-Betrieb wird die Einsatzzeit in Minuten gemessen. Diese Lampe hat monatelang ohne jegliche Störungen funktioniert. Das lange Lebensdauerdesign ermöglicht eine Nutzungsdauer von über 5.000 Stunden, wobei die Leistung nur um weniger als 5% abnimmt.
Eine schnellere Trocknung verkürzt die Zeit zwischen Spülen und Trocknen, verkürzt somit den gesamten Prozesszyklus und reduziert Fehler durch Transportbedingungen. Der Energieverbrauch sinkt, da das System nur dann geheizt wird, wenn es benötigt wird – und anschließend schnell abkühlt. Dadurch bleibt die Temperatur stabil, was wiederum zu einer höheren Reproduzierbarkeit führt.
Dinge, die man beachten sollte:
Die Lampe muss zum Spülmodul sowie zur Substratstruktur passen. Es gibt eine kurze Einrichtungsphase, in der die Dauer und Intensität der Beleuchtung für jede Produktart angepasst werden müssen – dünne Photoresistschichten sowie Low-k-Filme reagieren nämlich nicht gleich auf dieselbe Energiemenge.
Es muss sichergestellt werden, dass die Absauganlagen und Kühlsysteme der Wärmebelastung der Lampe entsprechen. Die thermische Verbindung ist einfach zu realisieren – doch die Rohrleitungen müssen richtig dimensioniert sein, damit die Raumtemperatur stabil bleibt. Planen Sie außerdem regelmäßige Wartungen, damit die Prozessparameter auch im Laufe der Zeit konstant bleiben.