Wie man MEMS-Wafern trocknet, ohne Chaos zu verursachen Beim Herstellen von MEMS-Sensoren möchte man auf keinen Fall, dass Staubkörner oder chemische...

Hören Sie auf, Energie zu verschwenden: Die Wahrheit über das Trocknen von Wafern Beim Trocknen von Wafern geht es im Grunde darum, einen begrenzten...

Wenn eine IR-Lampe versagt – ist alles verloren In der Welt der Halbleiterfertigung ist das Versagen einer Lampe kein kleines Problem – es handelt...

Einführung Haben Sie schon einmal das Gefühl, im Wartezustand festzusitzen? Wenn Ihre Anlage mit aufwändigen Verarbeitungsschritten beschäftigt ist,...

Auf der Fertigungsfläche führt eine Abweichung von einem halben Grad auf der Heizplatte nicht dazu, dass ein Alarm ausgelöst wird – stattdessen geht...

Auf dem Produktionsboden ist die Situation klar: Selbst eine leichte Temperaturänderung von nur einem halben Grad kann dazu führen, dass die...

Bei der Herstellung von Solarzellen ist die Stabilität des Fotolacks unverzichtbar. Schon ein einziger Feuchtigkeitstropfen nach der Reinigung kann...

In der Produktion ist das Spülen noch nicht das Ende des Prozesses. Es handelt sich dabei vielmehr um die letzte Station, bevor Kontaminationen...

Reinigen Sie die Wafer, und die Oberfläche ist makellos – aber auch instabil. Jegliche Restfeuchtigkeit führt unweigerlich zu Defekten, die sich...

Auf der Fertigungsebene hängt die Ausbeute von der Temperaturkontrolle ab. Lässt man den Softbake auch nur um ein paar Grad schwanken, verliert man...