Verhindern Sie, dass Ihre Infrarotlampen Ihre Siliziumwafer zerstören
In einer Produktionsanlage mit hohem Volumen ist ein defekter Infrarotstrahler ein Albtraum. Es geht nicht nur um die Stillstandszeiten – wenn eine Quarztube über einem Siliziumwafer zerbricht, entsteht sofort Kontamination, und die ganze Charge muss als defekt verworfen werden. Das ist wirklich eine Katastrophe.
Genau deshalb bauen wir unsere Infrarotkomponenten in den Schutzkammern auf diese Weise.
Das Glas bleibt an seinem Platz
Wir verlassen uns nicht nur auf eine Schicht Glas. Wir verwenden stattdessen eine Doppelglasstruktur. Zwar besteht das Heizelement aus hochreinem geschmolzenem Quarz, doch für Schutzkammern fügen wir noch eine zusätzliche Schutzschicht hinzu – im Grunde handelt es sich dabei um einen speziellen Quarzsleeve.
Stellen Sie sich das wie eine Versicherung vor: Falls das innere Filament versagt oder die Tube durch thermische Belastungen zerbricht, fängt dieser Sleeve die Glassplitter ab und hält das Halogengas zurück. So bleiben Ihre Wafer sauber – ohne Verunreinigungen, ohne Katastrophen.
Umgang mit der Hitze
Wenn man diese Lampen mit hoher Leistung betreibt, entstehen „heiße Punkte“. An diesen Stellen wird das Glas zu weich und bricht schließlich. Um das zu verhindern, verteilen wir die Leistungsintensität gleichmäßig über die gesamte Tube, damit keine Stelle überhitzt.
Auch Sie spielen dabei eine Rolle: Ihr PID-Controller muss richtig eingestellt werden. Wenn Sie die Zieltemperatur um auch nur 10 % überschreiten, verkürzen Sie die Lebensdauer der Lampe erheblich.
Die Details der Konstruktion
Wir verwenden Standardanschlüsse, um eine feste elektrische Verbindung zu gewährleisten. Warum? Weil lose Verbindungen zu Funkenbildung führen können – und Funken wiederum die Lampen zerstören. Überprüfen Sie daher unbedingt den Kontaktdruck. Es dauert nur zwei Sekunden – doch dadurch sparen Sie sich später große Probleme.
Etwas, worauf man achten muss: Der Schutzsleeve blockiert etwas vom Infrarotlicht. Wahrscheinlich müssen Sie die Leistungseinstellungen um 3–5 % erhöhen, um denselben Aufwärmzeitraum wie bei einer Lampe ohne Schutzsleeve zu erreichen.
Es handelt sich dabei um einen kleinen Kompromiss – aber es ist immer noch besser, als Glassplitter von den Wafern entfernen zu müssen.