Kohlenstoffeinsparung durch Heizen ohne Probleme
Bei der Herstellung von Halbleitern spielt die Wärme eine entscheidende Rolle. Doch wer schon einmal in einer Fertigungshalle gearbeitet hat, weiß, wie viel Energie einfach verschwendet wird. Die meisten herkömmlichen Widerstandsheizer dienen im Grunde nur dazu, das gesamte Gehäuse der Maschine zu erwärmen – das ist pure Verschwendung.
Wenn wir wirklich die Ziele einer umweltfreundlichen Fertigung erreichen wollen, müssen wir aufhören, die Luft zu erwärmen, und stattdessen den Wafer direkt erwärmen. Hier kommen die mit Gold überzogenen Kurzwellen-Infrarotlampen ins Spiel.
Die Magie der Goldbeschichtung
Eine normale Quarzlampe strahlt Wärme in alle Richtungen ab. Durch das Hinzufügen einer dünnen Goldschicht an der Oberfläche des Quarzes entsteht so eine Art „Spiegel“ für die „falschen“ Arten von Wärme. Die Langwellenstrahlung wird direkt zurück zum Glühfaden reflektiert, während die Kurzwellen-Infrarotstrahlen direkt zum Wafer gelangen. Anstatt dass die ganze Maschine warm wird, wird die Wärme genau dort bereitgestellt, wo sie benötigt wird. Das ist effizient.
Beschleunigung des Prozesses
Da diese Lampen eine große Menge an Energie in einem kleinen Bereich freisetzen, sinken die Zeitbedürfnisse für das Erhitzen oder Trocknen der Wafer erheblich. Es geht also sehr schnell. Und das bedeutet geringere Stromkosten pro Wafer. Wir haben diese Lampen so konstruiert, dass sie den schnellen Ein- und Ausschaltvorgängen gerecht werden können – dadurch bleibt die Präzision gewahrt.
Ein Rat: Überprüfen Sie Ihre Kühlung!
Da die Goldbeschichtung so viel Wärme freisetzt, kann die Rückseite des Gehäuses trotzdem extrem heiß werden, wenn der Luftstrom nicht ausreichend ist. Wenn die Kühlung nicht richtig eingestellt ist, können die Glühfäden zerstört werden. Das ist sicherlich keine schöne Erfahrung.
Verringerung des Energieverbrauchs
Das Beste daran: Man kann den Bereich, der erhitzt werden muss, tatsächlich verringern. Man braucht nicht mehr auf die Erwärmung der umliegenden Luft zu setzen. Das ist die effektivste Möglichkeit, die CO2-Emissionen pro Wafer zu senken. Für die meisten Anwender sind diese Lampen eine perfekte Alternative zu den alten Halogenlampen. Stellen Sie einfach sicher, dass Ihre Stromversorgung die spezielle Spannung und den Stromstrom bewältigen kann – dann können Sie loslegen.