De pasar de aire forzado a lámparas infrarrojas sin óxido en el procesamiento semiconductor
Si todavía utiliza circulación de aire caliente para el procesamiento de semiconductores, probablemente esté perdiendo mucho tiempo simplemente esperando.
Cambiar a lámparas infrarrojas sin óxido no se trata solo de utilizar un tipo diferente de calor. Se trata también de eliminar ese tiempo de espera tan fastidioso.
El problema del “tiempo de espera”
Piense en cómo funciona el aire forzado: primero hay que calentar el aire, y luego ese aire debe calentar el sustrato. Es como tener un intermediario entre el calor y el sustrato. Acabamos pasando minutos enteros esperando a que la cámara alcance la temperatura adecuada.
Las lámparas infrarrojas eliminan ese intermediario. La energía va directamente desde la lámpara al sustrato. Esto significa que el tiempo necesario para alcanzar la temperatura deseada se reduce de minutos a segundos. Es como encender o apagar un interruptor.
El problema del óxido
Ahora bien, aquí está la parte complicada. La mayoría de las lámparas infrarrojas estándar emiten radiación en el rango de 185 nm. El problema es que esto genera óxido.
En una sala limpia, el óxido es un verdadero problema. Destruye los sellos y oxida las partes que deben permanecer intactas. Para solucionarlo, utilizamos filamentos filtrados y envolturas de cuarzo especiales. De esta manera, se obtiene toda esa intensidad térmica, pero sin los efectos negativos del óxido.
Configuración adecuada
No basta con conectar estas lámparas y listo. Estas lámparas consumen mucha energía, por lo que es necesario que la regulación de voltaje sea precisa. De lo contrario, las lámparas se quemarán muy rápidamente.
Y una advertencia: estas lámparas se calientan mucho. Si busca máxima eficiencia térmica, no use soportes baratos. Estos se deformarán. Use cerámicas resistentes al calor si quiere que las lámparas duren más tiempo.
Las desventajas
Nada es perfecto. Las lámparas infrarrojas son extremadamente rápidas, pero su acción es direccional. A diferencia del aire caliente, que calienta todo a su alrededor, las lámparas infrarrojas solo calientan aquello que pueden “ver”. Si sus piezas tienen formas extrañas o rincones profundos, habrá zonas frías.
Tendrá que dedicar algo de tiempo a planificar la disposición de las lámparas o utilizar reflectores. Requiere algo de ajuste, pero una vez que logre una distribución uniforme del calor sobre toda la superficie del wafer, la velocidad obtenida vale cada segundo de esfuerzo.