دیگر اجازه ندهید گرمای تولید شده در فرآیند پردازش ویفرها هدر برود!
باید صادقانه بگوییم که اکثر سیستمهای گرمایشی مورد استفاده برای پردازش ویفرها، به طرز شگفتانگیزی باعث هدررفت انرژی میشوند.
اگر از لامپهای کوارتز استاندارد استفاده میکنید، این لامپها گرما را در تمام جهات – ۳۶۰ درجه – پخش میکنند. این بدان معناست که نیمی از انرژی الکتریکی صرف گرم کردن بدنه دستگاه میشود، در حالی که گرما واقعاً به سیلیکون نمیرسد. این کار باعث هدررفت انرژی و مشکلات برای سیستمهای خنککننده میشود.
ما این مشکل را با استفاده از لایههای بازتابنده طلا، حل کردیم؛ این لایهها باعث میشوند گرما دقیقاً به جای مورد نظر برسد.
چرا طلا؟
دلیلش این است که طلا در بازتاب امواج مادون قرمز بسیار عالی عمل میکند. با اضافه کردن لایهای دقیق از طلا به رزوناتور، میتوانیم از منحرف شدن امواج مادون قرمز جلوگیری کنیم و آنها را دوباره به سمت سطح ویفر هدایت کنیم.
هدف این کار، صرفاً افزایش دما نیست؛ بلکه کنترل دقیق دماست. شما میتوانید پرتوی گرمایی بسیار قویتری روی ویفرها داشته باشید، بدون نیاز به افزایش توان مصرفی دستگاه.
صرفهجویی در هزینههای برق
وقتی که یک سیستم را طراحی میکنید، میخواهید تا حد امکان سریع به دمای مورد نظر برسید. رزوناتورهای پوشیده شده با طلا، از هدررفت انرژی جلوگیری میکنند؛ بنابراین میتوانید انرژی کمتری برای هر ویفر مصرف کنید. اگر از صدها لامپ در یک خط تولید استفاده میکنید، این صرفهجوییهای کوچک، در نهایت منجر به کاهش چشمگیر هزینههای ماهانه میشود.
هشداری کوتاه
البته، یک معایبی نیز وجود دارد؛ چون گرما بسیار متمرکز است، اتفاقات بسیار سریع رخ میدهند. بنابراین باید مراقب تنظیمات PID باشید؛ اگر سیستم کنترلی شما کمی کند عمل کند، ممکن است دما بیش از حد افزایش یابد و سطح ویفر آسیب ببیند.
خبر خوب این است که ما این رزوناتورها را به صورت جایگزینی ساده طراحی کردهایم؛ شما میتوانید قطعات قدیمی آلومینیومی یا فولادی خود را بدون نیاز به طراحی مجدد، جایگزین کنید. تجهیزات شما همچنان خنک خواهد ماند، فنها نیازی به کار کردن با حداکثر توان نخواهند داشت، و میزان گرمای تولید شده نیز کنترل خواهد شد. فقط مطمئن شوید که سنسورهای شما برای این میزان بالای گرما آماده باشند.