Arrêtez de gaspiller de l’énergie dans le processus de traitement des wafer
Soyons honnêtes : la plupart des systèmes de chauffage des wafer sont étonnamment inefficaces. Si vous utilisez des lampes en quartz standard, celles-ci déversent de la chaleur dans toutes les directions – 360 degrés. Cela signifie que la moitié de l’électricité consommée sert uniquement à chauffer le châssis de la machine, au lieu d’atteindre réellement le silicium. C’est un gaspillage d’énergie et cela représente également un problème pour les systèmes de refroidissement.
Nous avons résolu ce problème en utilisant des revêtements réfléchissants en or, permettant ainsi de diriger la chaleur exactement là où elle est nécessaire.
Pourquoi l’or ?
Cela vient du fait que l’or est extrêmement efficace pour réfléchir les ondes infrarouges. En ajoutant une couche précise d’or sur le réflecteur, nous empêchons ces ondes de s’égarer et les renvoyons vers la surface du wafer.
L’objectif n’est pas simplement de faire monter la température, mais plutôt de la contrôler avec précision. Vous obtenez ainsi un faisceau de chaleur beaucoup plus concentré, sans avoir besoin d’augmenter la puissance du système.
Économies d’énergie
Lorsque vous concevez un système, vous souhaitez atteindre la température souhaitée le plus rapidement possible. Les réflecteurs revêtus d’or réduisent les pertes d’énergie, ce qui signifie que vous pouvez utiliser moins d’énergie par wafer. Si vous travaillez avec des centaines de lampes, ces petites économies se cumulent pour entraîner une réduction significative de vos coûts mensuels.
Un mot de prudence
Il y a cependant un compromis à considérer : comme la chaleur est très concentrée, les choses se passent très rapidement. Il vous faudra donc surveiller attentivement les paramètres de contrôle du système. Si le système de contrôle est un peu lent, vous risquez de dépasser la température souhaitée et de endommager le substrat avant que le système ne puisse réagir.
La bonne nouvelle ? Ces réflecteurs peuvent être installés directement à la place des anciens éléments en aluminium ou en acier poli. Vos équipements resteront donc plus froids, vos ventilateurs n’auront pas besoin de fonctionner à plein régime, et votre empreinte thermique restera maîtrisée. Assurez-vous simplement que vos capteurs soient adaptés à cette intensité accrue.