במפעל הייצור, שינוי של 0.1°C בטמפרטורה במהלך תהליך החימום של הפוטורזיסט יכול לגרום לכך שכל אצווה של וופרים בגודל 300 ממ תהיה בלתי תקינה. לכן, נוצרו להבות חימום באמצעות אור אינפרא-אדום, שנועדו למנוע שינויים אלו עוד לפני שהם יתרחשו.
העקרון הטכני הוא כדלקמן: הלהבות משתמשות בגלאי אינפרא-אדום בעלי תגובה מהירה, כך שניתן להשיג חימום מהיר וממוקד. האחידות של הטמפרטורה על פני פני השטח של האינטרפוזר היא ±0.1°C, והשגרתיות של הטמפרטורה נשמרת בטווח צר מאוד. אורך הגל המרבי מותאם לספיגת האנרגיה על ידי הפוטורזיסט, כך שהאנרגיה נמצאת במקום הנכון – בשכבת הפוטורזיסט – מבלי לפגוע בחומרים האלקטרוסטטיים שנמצאים מתחתיה. הלהבות פועלות 24/7, אינן יוצרות חלקיקים, ומאפשרות עבודה ברמת ניקיון מסדרה 1 עד 100.
בתהליך הליתוגרפיה, אנו יודעים שיש צורך בחימום עדין כדי להוציא את הממסים ולייצב את הפוטורזיסט. חימום אינטנסיבי נועד לייצב את התבנית לפני החיתוך. שני השלבים האלו דורשים טמפרטורה יציבה ואחידה. הלהבות האלו שומרות על יציבות הטמפרטורה של האינטרפוזר, מה שמפחית את שינויי רוחב הקווים ומונע הופעת לכלוך או פגמים לאחר העיבוד.
התוצאה? שיעור ייצור גבוה יותר, פחות צורך בעבודות תיקון, ושליטה מדויקת ברוחב הקווים. גם צריכת האנרגיה יורדת, מכיוון שהלהבות מחממות רק את האזור הרצוי, ולא את כל האזור שסביבו.
כמה הערות מעשיות: יש צורך בהתאמה קפדנית של הלהבות מבחינה אופטית, וכן בהתקנה בסביבה נקייה כדי לשמור על רמת חלקיקים נמוכה. עוצמת האור מותאמת לסוג האינטרפוזר הספציפי; לכן, אם יש שינוי בסוג האינטרפוזר, ייתכן שיהיה צורך בהתאמה מהירה של הפרמטרים.
יש לתכנן את ההתקנה של הלהבות יחד עם מערכת הבקרה התרמית מראש. כאשר הכל מתאים, התהליך יכול להתנהל בצורה חלקה.