फैब फ्लोर पर, हॉट प्लेट पर आधा डिग्री का अंतर भी कोई समस्या नहीं पैदा करता… बल्कि ऐसा अंतर तो बहुत ही नुकसानदायक होता है। “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाओं से ही महत्वपूर्ण आयाम निर्धारित होते हैं… और थर्मल बजट पर कोई बहस ही नहीं हो सकती। हमने इसी वास्तविकता को ध्यान में रखकर ही अपने वेफर-टूल ऑटोमेशन सेंसरों को विकसित किया है… ये सेंसर उसी स्थान पर तापमान मापते हैं, जहाँ वेफर पर वास्तव में तापमान पड़ता है… न कि उस स्थान पर, जहाँ हीटर के अनुसार तापमान होना चाहिए।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
ये सेंसर एसेम्बली उद्देश्यों हेतु ही विकसित किए गए हैं… प्रक्रिया सतह पर ±0.1°C की समानता, एवं दरवाजे खोलने/बंद करने के बाद तुरंत प्रतिक्रिया देने की क्षमता… ये सेंसर 24/7 काम करते हैं… एवं कोई भी कण नहीं उत्पन्न करते… इस प्रकार ये क्लीनरूम क्लास 1–100 के मानकों का पालन करते हैं… थर्मल साइकलिंग के दौरान भी इनकी पुनरावृत्ति क्षमता बनी रहती है… इस प्रकार बेकिंग प्रक्रिया हर बार एक ही तरह से होती है… इनके इंटरफेस उत्पादन हेतु तैयार हैं… मशीनरी एवं विद्युत संबंधी सुविधाएँ भी विश्वसनीय हैं।
लिथोग्राफी में इनकी उपयोगिता क्या है?
लिथोग्राफी प्रक्रिया में, ये सेंसर उत्पादन दक्षता को बढ़ाने में मदद करते हैं… “सॉफ्ट बेक” प्रक्रिया से चिप्स की चिपचिपाहट एवं फिल्म पर लगने वाला दबाव स्थिर रहता है… “हार्ड बेक” प्रक्रिया से महत्वपूर्ण आयाम स्थिर रहते हैं… इस प्रकार कम त्रुटियाँ होती हैं… कम पुनर्कार्य की आवश्यकता होती है… एवं प्रदर्शन भी पूर्वानुमेय रहता है… इसके अलावा, चूँकि ये सेंसर लगातार काम करने हेतु ही विकसित किए गए हैं… इसलिए इनके कारण होने वाली बाधाओं/देरी का कोई खर्च नहीं होता।
इन्हें सही तरीके से स्थापित करने हेतु आवश्यक बातें
थर्मल मास एवं स्थिति का ध्यान रखना आवश्यक है… सेंसर वहीं तापमान मापता है, जहाँ वेफर पर वास्तव में तापमान पड़ता है… इसलिए टूल क्वालिफिकेशन के दौरान ही इसकी स्थापना एवं प्रक्रिया सतह से जुड़ने की प्रक्रिया निर्धारित की जाती है… PID सेटिंग्स को समायोजित करने हेतु थोड़ा समय आवश्यक है… एक बार सब कुछ सही हो जाने के बाद, ये सेंसर लगातार काम करते रहते हैं… बशर्ते कि इन्हें प्रक्रिया का ही हिस्सा माना जाए… न कि कोई अतिरिक्त उपकरण।