Smettete di sprecare calore durante il processo di lavorazione dei wafer
Se siamo onesti, la maggior parte dei sistemi per riscaldare i wafer è sorprendentemente inefficiente. Se si utilizzano lampade a quarzo tradizionali, il calore viene disperso in tutte le direzioni, ovvero a 360 gradi. Ciò significa che metà dell’energia elettrica utilizzata serve soltanto per riscaldare il corpo macchina, invece di raggiungere effettivamente il silicio. È quindi uno spreco di energia, oltre a rappresentare un problema per i sistemi di raffreddamento.
Abbiamo risolto questo problema utilizzando rivestimenti riflettenti in oro, in modo da indirizzare il calore esattamente dove è necessario.
Perché l’oro?
L’oro è estremamente efficace nel rimandare indietro le onde infrarosse. Aggiungendo uno strato preciso di oro al riflettore, possiamo impedire alle onde infrarosse di disperdersi e farle tornare verso la superficie del wafer.
Lo scopo non è semplicemente “riscaldare di più”, ma piuttosto ottenere un raggio di calore più intenso e controllato, senza dover aumentare l’energia utilizzata.
Risparmio sui costi energetici
Quando si progetta un sistema, è importante raggiungere la temperatura desiderata il più rapidamente possibile. I riflettori rivestiti d’oro riducono notevolmente le perdite di calore, evitando che la camera a vuoto diventi come un forno. In questo modo, si può utilizzare meno energia per ogni wafer. Se si utilizzano centinaia di lampade, questi piccoli risparmi si sommano, portando a una notevole riduzione dei costi mensili per l’elettricità.
Un avvertimento
C’è però un compromesso: poiché il calore è molto concentrato, le cose accadono molto velocemente. Bisogna quindi prestare attenzione alla regolazione del sistema di controllo. Se il sistema di controllo è troppo lento, si potrebbe superare la temperatura desiderata e danneggiare il substrato prima che il sistema possa reagire.
La buona notizia è che questi riflettori possono essere sostituiti facilmente. È possibile sostituire i vecchi componenti in alluminio o acciaio lucidato senza dover ridisegnare l’intero sistema. Il vostro equipaggiamento rimarrà più freddo, i ventilatori non dovranno funzionare a piena potenza, e l’impatto termico rimarrà sotto controllo. Basta assicurarsi che i sensori siano in grado di gestire questa maggiore intensità di calore.