はじめに
時間ばかりが過ぎていくように感じたことはありませんか？ウェハの処理が長引くと、空気の流れが処理を遅らせてしまいます。そこで、そのボトルネックを解消するために、エネルギー効率の高いウェーハヒーターを開発しました。
重要なのは速度です。短波赤外線ハロゲン技術を活用することで、ウェハ表面に直接熱を供給できます。これにより、チャンバー全体をオーブンのようにしてしまうことなく、効率的に加熱が行えます。
機能のポイント
このヒーターの特徴は、高密度で精密な制御が可能であることです。400Vの電源を使用するため、小さなサイズでも十分なパワーが得られ、電気系統に負担をかけません。その結果、迅速に温度が上昇し、安定した温度が維持されます。
また、300mmという加熱長さも優れています。これにより、標準的なツールとの互換性が保たれ、何も変更せずに使用できます。出力の調整も適切に行われているため、一貫した結果が得られます。RTP方式と同様の性能を発揮しつつ、複雑な配管の心配もありません。
構造の詳細
コア部分は石英製のケースで覆われており、高純度のハロゲンが充填されています。この組み合わせにより、熱を効率的に保持できます。シリコンや薄膜層がその熱を効果的に吸収します。内部では、ハロゲンが機能し、何度も加熱・冷却を繰り返してもヒーターが安定して機能します。
R7sバイピンコネクタのおかげで、ランプの交換も簡単です。工具を使わずに簡単に取り替えられるため、停止時間も短く済みます。外側のコーティングも耐久性が高く、熱衝撃にも耐え、汚染を防ぎます。そのため、放射率が安定し、メンテナンスも容易です。
お客様にとってのメリット
高度な処理においては、時間こそがコストです。赤外線ヒーターは、時間を節約してくれます。ウェハ自体を直接加熱するため、チャンバー全体が温まるのを待つ必要がありません。温度の変化も迅速で、均一性も保たれます。また、1バッチあたりのエネルギー消費も少なくなります。
これは、より多くの生産量を得たいが、広いスペースを必要としない場合に最適なアップグレードです。ただし、強烈な熱密度のため、冷却や遮蔽装置も十分なものでなければなりません。もし不足していると、ホットスポットが発生する可能性があります。しかし、適切なランプを選べば、スムーズに動作し、不良品も減少します。