製造現場では、ウェーハの乾燥やフォトレジストの焼成時に生じる熱的なずれは、致命的な故障としては現れません。代わりに、歩留まりの低下やCD分布のばらつき、そして多くの再作業が発生します。厳しい温度管理が求められるため、ホットスポットやコールドエッジ、または運転ごとに変動する設定値の余地は一切ありません。
内部で重要なのは何か 私たちは、短波長のクォーツエミッタを使ったツインチューブ型の赤外線ヒーターを開発しました。これにより、エネルギーが迅速かつ直接供給され、即座に反応します。ツインチューブ構造により、スペースを取らずに高い出力密度を実現できるため、スピントラックやコーティング/焼成モジュール、硬化ステーションに簡単に設置できます。活性領域全体での温度均一性は±0.1℃以内であり、制御ループも再現性を重視して調整されているため、シフトを変えても焼成プロファイルが一定に保たれます。クリーンルーム適合性も問題ありません。使用されている材料や構造により、粒子の発生をほぼゼロに抑えているため、クラス1～100の環境に適しています。
なぜ私たちの世界で有用なのか ウェーハの乾燥や洗浄が迅速に行えるのは、赤外線が空気全体を温めるのではなく、ウェーハ自体に直接当たるからです。フォトレジスト処理では、ランプが一定の温度を維持するため、ラインエッジの粗さが改善され、熱的不均一性に起因する欠陥も減少します。包装においては、封止剤やアンダーフィルの均一な硬化が可能になり、ガラス転移や接着性も予測可能になります。また、ランプが対象物のみを加熱するため、エネルギー節約にもなります。信頼性も確認済みで、5,000時間以上の稼働でも出力の低下は5％未満です。
苦労して学ぶこと 赤外線は直線的にしか届きません。金属製の固定具は熱を反射し、チャックは影を作るため、局所的なホットスポットやコールドエッジが発生する可能性があります。そのため、ランプの位置は光学や幾何学的な要素を考慮して決定する必要があります。私たちは明確な取り付け範囲を提示し、設置時に一度だけの調整を推奨します。それ以降は、ランプは指定通りに動作し、定期的な交換のみを行えばよいのです。