웨이퍼 건조나 포토레지스트 가열 과정에서 발생하는 열 변동은 치명적인 고장으로 이어지지는 않습니다. 대신 수율 저하, CD 분포의 불균일성, 그리고 재작업으로 인한 시간 손실과 같은 문제가 발생합니다. 열 관리가 매우 중요하기 때문에, 과열된 부분이나 온도가 불규칙한 부분, 혹은 작동 상태가 계속 변하는 것은 용납될 수 없습니다.
내부 구조에서 중요한 것들 저희는 단파 석영 방출체를 기반으로 한 트윈-튜브형 적외선 히터를 개발했습니다. 이 히터는 에너지를 직접적이고 빠르게 전달하며, 반응도 즉각적입니다. 트윈-튜브 구조 덕분에 공간을 차지하지 않으면서도 에너지 밀도를 높일 수 있어, 스핀 트랙, 코팅/가열 모듈, 경화 스테이션 등에 쉽게 설치될 수 있습니다. 작동 영역 전체에서 온도 균일성은 ±0.1°C 수준을 유지하며, 제어 루프도 반복성을 위해 최적화되어 있어, 매번 일관된 가열 프로파일을 얻을 수 있습니다. 클린룸 환경과의 호환성도 문제가 되지 않습니다. 사용된 재료와 구조 덕분에 입자 발생이 거의 없어, 클래스 1–100 환경에 적합합니다.
왜 우리의 업무에 적합한가? 적외선은 웨이퍼에 직접적으로 작용하기 때문에, 웨이퍼 건조 및 청소 과정이 빨라집니다. 포토레지스트 처리 과정에서는 램프가 일정한 온도를 유지하여 선 가장자리의 거칠기를 줄이고, 열 불균일성으로 인한 결함을 줄여줍니다. 패키징 과정에서는 캡슐화제와 언더필제가 균일하게 경화되어, 유리 전이점과 접착력이 예측 가능하게 됩니다. 또한 램프가 목표물만을 가열하기 때문에 에너지도 절약됩니다. 신뢰성도 검증되었으며, 5,000시간 이상 작동해도 출력 감소율은 5% 미만입니다.
경험을 통해 알게 된 사실들 적외선은 직선 방향으로만 작용합니다. 금속 부품들은 열을 반사할 수 있고, 고정 장치들은 그림자를 만들어내므로, 특정 부위가 과열되거나 온도가 낮아질 수 있습니다. 따라서 램프의 위치는 광학적 및 기하학적 요소를 고려하여 정확하게 설정해야 합니다. 저희는 명확한 설치 가이드를 제공하며, 설치 시 한 번만 정렬하면 됩니다. 그 이후로는 램프가 지정된 대로 작동하므로, 정기적인 램프 교체만 하면 됩니다.