Hentikan pembaziran tenaga semasa proses pemprosesan wafer
Sejujurnya, kebanyakan sistem pemanasan wafer sebenarnya merupakan cara yang membuang-buang tenaga. Jika anda menggunakan lampu kuarsa biasa, haba akan tersebar ke semua arah – 360 darjah. Ini bermakna separuh daripada tenaga elektrik yang digunakan hanya digunakan untuk memanaskan badan mesin, bukannya untuk memanaskan permukaan silikon itu sendiri. Ini merupakan pembaziran tenaga, dan juga menyusahkan sistem penyejukan mesin tersebut.
Kami telah menyelesaikan masalah ini dengan menggunakan lapisan reflektif emas, agar haba dapat disalurkan ke tempat yang sepatutnya sahaja.
Mengapa emas?
Emas sangat efektif dalam memantulkan gelombang inframerah. Dengan menambah lapisan emas pada reflektor, kita dapat menghalang gelombang inframerah daripada tersebar, dan memastikan ia tetap berada di permukaan wafer.
Tujuannya bukan sekadar untuk “meningkatkan suhu”, tetapi untuk mengawal suhu dengan lebih baik. Dengan cara ini, haba dapat disalurkan dengan lebih tepat ke target yang diinginkan, tanpa perlu meningkatkan kuasa yang digunakan.
Penjimatan kos elektrik
Apabila merancang sistem pemanasan, anda ingin mencapai suhu yang diinginkan secepat mungkin. Reflektor yang dilapisi emas dapat mengurangkan pembaziran tenaga. Ini bermakna anda memerlukan kurang tenaga untuk memanaskan setiap wafer. Jika anda menggunakan ratusan lampu, penjimatan ini akan memberi kesan besar terhadap kos utiliti bulanan anda.
Peringatan penting
Terdapat kelemahan pada pendekatan ini. Kerana haba yang dihasilkan sangat intensif, benda-benda di sekitarnya akan bergerak dengan cepat. Anda perlu memastikan pengaturan PID berfungsi dengan baik. Jika sistem kawalan tidak berfungsi dengan baik, suhu mungkin akan melebihi had yang ditetapkan, sehingga substrat boleh rosak sebelum sistem sempat bertindak balas.
Berita baiknya ialah reflektor ini boleh digunakan sebagai pengganti komponen aluminium atau keluli biasa. Peralatan anda akan tetap sejuk, kipas tidak perlu beroperasi pada kelajuan maksimum, dan penggunaan tenaga akan tetap rendah. Pastikan sensor anda bersedia untuk menangani intensiti haba yang lebih tinggi.