Dalam proses pembakaran bahan fotoresistan ini, apa yang penting ialah pengawalan suhu yang tepat. Jika kawasan yang panas berubah kedudukannya atau kaca tersebut mula bengkok, maka kualiti hasilnya akan terjejas. Dalam pengeluaran panel LCD, substratnya bersaiz besar dan sangat sensitif terhadap perubahan suhu; oleh itu, kawalan suhu yang tepat sangat penting. Kami telah membangunkan pemanas inframerah untuk memastikan suhu tetap stabil dan boleh dikawal dengan baik.
Apa yang Penting dari Segi Teknikal
Pemanas NIR kami mampu memberikan keseragaman suhu pada substrat yang bersaiz besar, dengan ketepatan suhu sekitar ±0.1°C di permukaan substrat tersebut. Sistem pemanasan berbasis kuarsa-halogen ini memberikan aliran haba yang efektif, dan ia boleh dikawal dengan tepat. Dengan cara ini, suhu dapat dipertahankan dalam lingkungan toleransi yang ketat sepanjang proses pembakaran.
Keserasian dengan Standard Bilik Bersih Kelas 1–100
Reka bentuk pemanas ini membolehkannya digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100. Bahan-bahan yang digunakan tidak menghasilkan gas berbahaya, sambungan antara komponen-komponen pemanas juga tertutup rapat, dan aliran udara juga dikawal dengan baik. Ini membantu mengelakkan pencemaran semasa proses pembakaran. Tiada pembentukan zarah semasa proses pembakaran, sehingga lapisan fotoresistan dapat dilindungi dengan baik.
Mengapa Ia Berkesan
Dalam proses litografi, proses pembakaran bukanlah langkah yang berdiri sendiri – ia merupakan sebahagian daripada keseluruhan proses pengeluaran. Keseragaman suhu yang tinggi membantu mengurangkan variasi ketebalan lapisan fotoresistan, manakala kebolehrulangan proses pembakaran pula memastikan kualiti produk yang konsisten dari satu sesi pengeluaran ke sesi yang lain. Respons termal yang cepat membantu memendekkan masa proses pembakaran, tanpa menyebabkan masalah lain. Kecekapan pemanasan yang tinggi pula membantu mengurangkan penggunaan tenaga untuk setiap panel yang dihasilkan. Akibatnya, lebih sedikit produk yang perlu diperbaiki, lebih sedikit bahan buangan, dan kapasiti pengeluaran yang lebih baik.
Perkara yang Perlu Diketahui
Pemanas ini memang berbentuk kompak dan modular, tetapi integrasinya bukanlah sesuatu yang mudah. Anda perlu menyesuaikan keluaran lampu dengan geometri ruang pemprosesan, mengkalibrasi alat pengukur suhu mengikut emisiviti kaca, serta memastikan aliran udara berada dalam keadaan yang sesuai agar suhu dapat dikawal dengan tepat. Lakukan ujian awal untuk menyesuaikan parameter PID agar sesuai dengan jenis substrat dan kelajuan konveyor yang digunakan.