Cara mengeringkan wafer MEMS tanpa menyebabkan kerosakan
Ketika membuat sensor MEMS, perkara terakhir yang diinginkan ialah adanya debu atau kotoran kimia yang boleh merosakkan wafer tersebut. Namun, untuk membuang kelembapan dan bahan pelarut dari permukaan wafer ini bukanlah perkara yang mudah.
Selama ini, orang menggunakan ketuhar udara bertekanan untuk tujuan ini. Masalahnya ialah ketuhar tersebut memerlukan banyak tenaga, dan proses pemanasan dilakukan dengan cara meniup udara ke sekeliling wafer. Dalam bilik bersih, tindakan ini sebenarnya akan membawa masuk lebih banyak zarah kotoran ke dalam wafer.
Itulah sebabnya kita beralih kepada pemanas inframerah gelombang pendek. Daripada memanaskan udara, kita menggunakan radiasi untuk memanaskan wafer. Tiada penghawa dingin, tiada aliran udara, dan jumlah kotoran yang terhasil juga sangat sedikit.
Bagaimana ia berfungsi
Bayangkan begini: Pemanas inframerah tidak memanaskan udara di dalam bilik. Sebaliknya, ia memanaskan molekul air dan sisa bahan pelarut secara langsung. Foton yang dipancarkan akan membuat molekul-molekul tersebut bergetar, dan cecair tersebut akan hilang dengan segera. Proses ini berlaku dalam masa yang singkat. Anda tidak perlu membuang tenaga yang banyak untuk memanaskan kotak logam yang besar; cukup panaskan saja wafer tersebut. Ini merupakan cara yang lebih efisien untuk menggunakan tenaga.
Aspek “ hijau” dalam penggunaan teknologi ini
Industri kini sedang beralih ke standard yang bebas plumbum dan mesra alam. IR curing memang sesuai untuk tujuan ini. Anda tidak memerlukan bahan kimia tambahan yang digunakan oleh kaedah pengeringan lama. Tiada VOC yang dilepaskan dari komponen pemanas tersebut. Ia merupakan cara yang bersih untuk memindahkan tenaga dari satu titik ke titik yang lain.
Kelemahan teknologi ini
Namun, ada beberapa kelemahan. Lampu inframerah berintensiti tinggi sangat kuat – yang bagus untuk kelajuan proses – tetapi ia juga boleh merosakkan wafer jika digunakan secara berlebihan. Jika anda menyalakan lampu tersebut secara tiba-tiba, suhu yang tinggi boleh merosakkan wafer. Untuk mengelakkan ini, anda memerlukan pengawal PID yang baik untuk mengawal output tenaga.
Perlu diingat juga bahawa komponen kuarza pada pemanas tersebut sangat rapuh. Satu kesilapan kecil semasa menukar alat pun boleh merosakkan lampu tersebut. Kami telah merancang sistem ini agar dapat digunakan bersama dengan sistem konveksi yang sedia ada. Dengan cara ini, wafer dapat diproses dengan lebih cepat, dan prosesnya akan menjadi lebih bersih. Pastikan sistem penyejukan anda mampu menghadapi haba yang dihasilkan oleh lampu tersebut.