Op de productieafdeling is het thermische budget voor de fotoresist geen onderwerp waarover kan worden onderhandeld. Is de temperatuur maar één graad afwijkend? Dat is al voldoende om de controle over de afmetingen van het product te verstoren en daardoor ook de productiekwaliteit te beïnvloeden. De R7s-infraroodverwarmingslamp is ontworpen om deze afwijkingen vanaf het begin tegen te gaan.
Wat belangrijk is achter de schermen De R7s gebruikt kortegolflengte-infraroodlicht om de wafer te verwarmen. Hierdoor kan de temperatuur snel worden gereguleerd – binnen enkele seconden. Hierdoor blijft de uniformiteit op het oppervlak van de wafer op een niveau van ±0,1°C. Bovendien blijft de instelling van de temperatuur constant, zelfs na meerdere gebruikten. De lamp werkt goed in omgevingen met een zuiverheidsniveau van Class 1–100, zonder dat er vuildeeltjes worden gegenereerd. Dit voorkomt dat er vuil in het proces terechtkomt. Het kwartsomhulsel en de gestandaardiseerde constructie van de R7s maken het gemakkelijk om hem te integreren in bestaande apparaten. Ook blijft het thermisch profiel consistent, zelfs wanneer de apparaten 24/7 draaien.
Waarom deze lamp geschikt is voor het verwerken van fotoresist Tijdens zowel het zachte als het harde bakproces houdt de R7s de temperatuur precies op het gewenste niveau. Hierdoor wordt de uniformiteit van de afmetingen van het product verbeterd. Bovendien wordt de energieverbruik verminderd en wordt er minder afval geproduceerd. Er zijn minder problemen door temperatuurschwankingen, en de onderhoudsintervallen worden langer. Voor processen die afhankelijk zijn van een stabiele temperatuur, zorgt de R7s ervoor dat het thermische budget behouden blijft, zonder dat er sprake is van overtollige of te trage reacties.
Praktische details Voor de installatie moet de aansluiting perfect passen en moeten de elektrische contactpunten schoon zijn. Anders kunnen er lokale hittepunten ontstaan. Voordat u de lamp installeert, moet u controleren of de spanning en toleranties van uw apparatuur voldoen. Zorg er ook voor dat de temperatuurregelaar in staat is om snel te reageren. Plan vervangingsmomenten op basis van het aantal gebruikte uren, in plaats van te wachten tot er een defect optreedt.