Stop met het verspillen van energie: de waarheid over het drogen van waferbladen
Wanneer je waferbladen droogt, moet je rekening houden met een beperkt energieverbruik. Als je een drooglamp gebruikt zonder een goede reflector, gooi je in feite de helft van de energie zinloos weg. Dat is verspilling.
We gebruiken speciale reflectoren om de infrarode straling terug te sturen naar het waferblad. Hierdoor blijft de hitte op de juiste plek, waardoor de productie veel sneller verloopt.
Het gaat allemaal om de hoek
De vorm van de reflector bepaalt precies hoe de hitte op het oppervlak terechtkomt. We besteden veel tijd aan het ontwerpen van reflectoren met paraboolvormige of elliptische vormen, zodat de straling gelijkmatig wordt verspreid.
Waarom? Omdat ‘hot spots’ een groot probleem zijn. Ze kunnen de waferbladen beschadigen en het droogproces verstoren.
En hier komt het: als de reflector maar een paar graden scheefstaat, ontstaan er koude zones. Veel mensen proberen dit op te lossen door de sterkte van de lamp te verhogen. Dat is een fout. Hierdoor gaan de lampen eerder kapot.
De componenten en gegevens
We gebruiken substraten gemaakt van hoogzuiver aluminium of verguld materiaal. Deze materiaalsoorten kunnen goed omgaan met kortegolf- en middengolfradiatie. Bovendien kunnen ze veel schade verduren. Ze moeten immers voortdurend worden opgewarmd en afgekoeld.
In een moderne fabriek ‘zetten we het gewoon aan en vergeten het’. In werkelijkheid worden deze systemen verbonden met digitale controllers om het energieverbruik en de temperatuur in de gaten te houden. Dit is erg belangrijk. Je weet dan meteen wanneer een reflector begint te oxideren of wanneer een lamp niet meer goed werkt. Zo voorkom je dat er een hele batch waferbladen beschadigd raakt.
De compromissen
Er is echter één nadeel: wanneer je zoveel energie in een zo klein gebied concentreert, wordt het snel erg heet. Je kunt deze apparaten niet zomaar aansluiten en hopen op het beste resultaat. Je hebt een goede koeling nodig om je componenten te beschermen.
Als de koeling faalt, zal de hitte de laag op de reflector vernietigen. Dan daalt de efficiëntie drastisch, en moet je opnieuw beginnen.