Stop de ‘glasregen’: hoe je je wafers echt kunt beschermen tegen storingen in de infraroodlampen
Als je ooit te maken hebt gehad met een kapotte infraroodlamp tijdens een intensieve productieperiode, weet je dat het een nachtmerrie is. Het gaat niet alleen om het vervangen van de lamp zelf. Er zijn ook nog de scherven van het glas en het halogeengas. En dan realiser je je plotseling dat een hele lading wafers nu nutteloos is geworden.
Het is een chaos. En het is ook nog eens duur.
We hebben speciale verwarmers ontworpen voor onze schone kamers, zodat deze keten van storingen kan worden vermeden.
Het voorkomen van chaos
We vertrouwen er niet alleen op dat de kwartsbuis al het werk zal doen. Dat is te risicovol. In plaats daarvan omhullen we alles met een verstevigde behuizing. Denk erbij aan als een veiligheidsnet. Als de lamp beschadigd raakt of uitbrandt door thermische stress, vangen de behuizingen de scherven op. Niets valt meer op de siliciumwaferën terecht. We gebruiken hoogpuraquartz voor deze behuizingen, zodat je je geen zorgen hoeft te maken over uitstoot van gassen of over metaaldeeltjes die in de schone kamer terechtkomen.
Omgaan met hitte (en stroom)
De meeste infraroodlampen gaan kapot door spanningsschommelingen. Dat is alles.
Om dit op te lossen, bouwen we componenten die de stroom beperken rechtstreeks in de verwarmers in. Hierdoor wordt voorkomen dat het filament oververhit raakt wanneer de stroomtoevoer plotseling toeneemt. We houden ook goed toeziend op het verhoudingsgetal tussen vermogen en lengte. Waarom? Omdat ‘hot spots’ de lampen kunnen beschadigen. Door de thermische belasting gelijkmatig te verdelen, duurt de lamp langer.
Een tip: zorg ervoor dat je stroomvoorziening gefilterd is. Als de stroom ‘ruw’ is, zal dit de lampen beschadigen, ongeacht hoe goed ze zijn gebouwd.
Het gemakkelijk maken
Niemand wil het hele frame van de kar uit elkaar halen alleen maar om een lamp te vervangen. Daarom hebben we een modulair ontwerp gekozen. Je kunt de lamp vervangen en meteen weer aan het werk gaan, zonder problemen.
We gebruiken ook goudbeslagen connectors. Dat klinkt misschien fancy, maar het is praktisch. Het voorkomt oxidatie op de contactpunten, waardoor er minder elektrische weerstand is en minder warmte wordt gegenereerd bij de contactpunten.
Let op: als je het vermogen tot het uiterste drijft om sneller te kunnen werken, moet je goed opletten op de koelventilatoren. Te veel hitte zonder voldoende luchtcirculatie kan het frame van de kar beschadigen. Zorg ervoor dat de lucht goed circuleert, dan komt het goed.