Stop met het verspillen van warmte bij het verwerken van wafers
Laten we eerlijk zijn: de meeste systemen voor het opwarmen van wafers zijn verrassend inefficiënt. Als je standaard kwartslampen gebruikt, worden er warmtestralen in alle richtingen uitgestraald – 360 graden. Dat betekent dat de helft van de benodigde elektriciteit wordt gebruikt om het machinechassis op te warmen, in plaats van om het silicium te verwarmen. Het is dus een verspilling van energie en het veroorzaakt problemen voor je koelsystemen.
We hebben dit opgelost door goudreflecterende laagjes te gebruiken, zodat de warmte precies daar terechtkomt waar het nodig is.
Waarom goud?
Het heeft te maken met de manier waarop goud omgaat met infraroodgolven. Goud is zeer goed in het terugkaatsen van deze golven. Door een preciselaagje goud op de reflector aan te brengen, voorkomen we dat de infraroodgolven ergens anders heen gaan en worden ze juist teruggekaatst naar het oppervlak van de wafer.
Het doel is niet alleen om het warmer te maken, maar ook om controle over de temperatuur te hebben. Je krijgt dan een veel intensiever straal van warmte op het gewenste gebied, zonder dat je de vermogenssterkte hoeft te verhogen.
Economische voordelen
Bij het ontwerpen van een systeem wil je zo snel mogelijk de gewenste temperatuur bereiken. Goudcoated reflectoren voorkomen dat warmte onnodig wordt verspild. Hierdoor hoef je minder energie te gebruiken per wafer. Als je een proces met honderden lampen gebruikt, leiden deze kleine besparingen tot een grote daling van je maandelijkse kosten.
Een waarschuwing
Er is echter een nadelige kant: omdat de warmte zo geconcentreerd is, gebeuren dingen erg snel. Je moet goed opletten hoe je de PID-regeling instelt. Als de regeling wat traag is, kan het gebeuren dat je de gewenste temperatuur overschrijdt en het materiaal beschadigd raakt, voordat het systeem kan reageren.
Het goede nieuws? We hebben deze reflectoren zo ontworpen dat ze gemakkelijk kunnen worden vervangen. Je kunt je oude aluminium- of gepolijste stalen onderdelen vervangen, zonder dat je het hele systeem opnieuw hoeft te ontwerpen. Je apparatuur blijft koeler, je ventilatoren hoeven niet op volle kracht te draaien, en de thermische belasting blijft laag. Zorg er alleen voor dat je sensoren in staat zijn om om te gaan met deze hogere intensiteit.