Op de productielijn zorgt een afwijking van een halve graad op de hete plaat er niet voor dat er een alarm wordt afgegaan – maar het leidt wel tot veel verspilling. Zowel het zachte als het harde bakproces bepalen de cruciale dimensies, en de thermische parameters zijn niet ter discussie vatbaar. We hebben onze temperatuursensor voor de waferontwerptechnologie ontworpen om deze realiteit te kunnen omgaan: de sensor metert de temperatuur op de plek waar de wafer deze ervaart, en niet alleen op de plek die volgens de heater de juiste temperatuur zou moeten zijn.
Wat belangrijk is onder de motorkap Deze sensor is ontworpen voor gebruik in de半导体industrie: een uniformiteitsgraad van ±0,1°C over het hele procesoppervlak, met een responszeit die zo is ingesteld dat de sensor snel kan reageren op veranderingen wanneer de deur wordt geopend of gesloten. De sensor werkt 24/7 en veroorzaakt geen extra deeltjes. Hij past zich aan aan de eisen van een schone omgeving (klasse 1–100), zonder dat dit effect heeft op het aantal deeltjes in de lucht. De herhaalbaarheid blijft constant, zodat de bakprofielen van lot tot lot consistent blijven. De interfaces zijn klaar voor productie: ze zijn mechanisch goed geïntegreerd en elektrisch optimaal afgestemd, zodat ze betrouwbaar kunnen functioneren in een productielijn.
Waarom het werkt in de lithografie Bij het bakken in de lithografie zorgt deze sensor ervoor dat de kwaliteit van de producten behouden blijft. Een nauwkeurige controle tijdens het zachte bakproces houdt de viscositeit en spanning van het materiaal stabiel. Het precieze harde bakproces zorgt er bovendien voor dat de cruciale dimensies correct blijven. Hierdoor zijn er minder problemen, minder herwerkzaamheden en kan de prestatie worden voorspeld. Bovendien wordt er minder energie verbruikt, omdat de controle nauwkeurig is – er is minder overtollige warmte nodig. Omdat de sensor bedoeld is voor continu gebruik, hoef je geen rekening te houden met onverwachte stilstand vanwege storingen of vervangingen.
De details die bepalen of het werkt of niet Je moet rekening houden met de thermische massa en de positie van de sensor. De sensor meet de temperatuur op de plek waar de wafer deze ernaar ervaart. Daarom moeten de montagediepte en de verbinding met het procesoppervlak nauwkeurig worden vastgesteld tijdens de kalibratie van de sensor. Er is maar weinig tijd nodig om de PID-instellingen aan te passen en om te controleren of het profiel overeenkomt met de vereisten. Zodra de sensor goed is geïnstalleerd, werkt hij goed – mits je hem als onderdeel van het proces beschouwt, en niet als iets wat later nog geregeld hoeft te worden.