Как сушить пластины MEMS без появления загрязнений
При производстве датчиков MEMS последнее, чего хочется, — это чтобы какая-либо пылинка или химический осадок испортил пластину. Но избавление от влаги и растворителей с этих поверхностей оказывается сложной задачей.
Долгое время для этой цели использовались печи с принудительной циркуляцией воздуха. Проблема заключалась в том, что такие устройства потребляют много энергии, к тому же они создают поток воздуха, что способствует попаданию частиц в помещение. В чистых комнатах это только ухудшает ситуацию.
Поэтому мы перешли на использование нагревателей с коротковолновым инфракрасным излучением. Вместо нагрева воздуха мы используем излучение. Нет необходимости в вентиляторах, нет циркуляции воздуха, а значит, меньше загрязнений.
Как это работает
Представьте себе следующее: нагреватели с инфракрасным излучением не влияют на воздух в помещении. Они направляют свое излучение непосредственно на молекулы воды и остатки растворителей. Фотоны попадают на поверхность, заставляя молекулы вибрировать, и жидкость просто исчезает. Это происходит почти мгновенно. Вы не тратите энергию на нагрев всей металлической корпусной конструкции — вы нагреваете только саму пластину. Это гораздо более эффективный способ использования энергии.
Экологичность
Промышленность стремится к использованию безоловых и экологичных материалов. Инфракрасное обработка идеально подходит для этой цели. Не требуется использования химических добавок, которые используются в традиционных методах сушки. Из нагревательного элемента не выделяются вредные вещества. Это просто чистая энергия, передаваемая от одной точки к другой.
Недостатки
Есть и недостатки. Нагреватели с высокой интенсивностью излучения очень мощные — это хорошо с точки зрения скорости обработки, но они могут быть слишком агрессивными. Если резко увеличить мощность нагревателя, это может повредить пластину. Чтобы этого избежать, необходим контроллер PID для регулирования мощности.
Еще один нюанс: кварцевые корпуса нагревателей очень хрупкие. Один неверный жест во время замены комплектующих может привести к повреждению нагревателя. Мы разработали системы, которые можно легко интегрировать в существующие установки. Таким образом, процесс обработки будет проходить быстрее, а условия в помещении — более чистыми. Просто убедитесь, что ваша система охлаждения сможет справиться с теплом, исходящим от нагревателей.