IR lambalarının waferlerinizi bozmasını engelleyin
Yüksek kapasiteli yarı iletken üretim tesislerinde, arızalanan bir IR lambası büyük bir sorundur. Bu sadece üretimin durması anlamına gelmez; eğer kuvars tüpü silikon waferin üzerinde patlarsa, hemen kirlenme meydana gelir ve tüm parti ürünler kullanılamaz hale gelir. Bu durum oldukça karmaşık bir durumdur.
İşte bu yüzden IR lambalarımızı bu şekilde tasarlıyoruz.
Camın doğru yerde kalması
Sadece tek bir cam katmanına güvenmiyoruz. İki katmanlı bir yapı kullanıyoruz. Elbette ısıtma elemanı yüksek saflıkta füzyon kuvarsından yapılmıştır, ancak eldiven kutuları için ek bir koruma katmanı daha kullanıyoruz. Bu katman, adeta özel bir kuvars kılıfı gibidir. Bunu bir sigorta poliçesi olarak düşünebilirsiniz. Eğer içteki filament bozulursa veya tüp termal şok nedeniyle çatlar ise, bu kılıf cam parçalarını yakalar ve halojen gazını içinde tutar. Böylece waferleriniz temiz kalır; ne parçacıklar oluşur ne de başka sorunlar yaşanır.
Isıyla başa çıkma
Bu lambalar yüksek güçle çalıştığında “sıcak noktalar” oluşur. İşte burada cam çok yumuşar ve sonunda hasar görür. Bunu önlemek için güç yoğunluğunu tüpün her yerine eşit olarak dağıtıyoruz böylece tek bir noktada aşırı ısınma olmaz.
Ancak sizin de burada rolünüz var. PID kontrol cihazınızın ayarlarının doğru yapılması gerekiyor. Eğer hedef sıcaklığın %10 kadar üzerine çıkarsanız, lambanın ömrü kısalır ve patlama riski artar.
Kurulumun detayları
Elektrik bağlantılarının sağlam olmasını sağlamak için standart konektörler kullanıyoruz. Neden mi? Çünkü gevşek bağlantılar ark oluşmasına neden olur ve bu da tüplerin zarar görmesine yol açar. Bağlantıları yapıyken temas basıncını mutlaka kontrol edin. Bu işlem sadece iki saniye sürer, ancak ileride büyük sorunlardan kaçınmanızı sağlar.
Dikkat etmeniz gereken bir diğer nokta ise, bu koruma kılıfının IR ışığının küçük bir kısmını engellemesidir. Aynı hızda ısınma elde etmek için güç ayarlarınızı %3-5 oranında artırmanız gerekebilir. Bu küçük bir ticaret gibi görünse de, waferlerdeki cam parçalarını temizlemekten çok daha iyidir.