İşlem sırasında, fotoresistin pişirilmesi aşamasında termal parametreler belirlenir. Eğer sıcaklık kontrolü sağlanamazsa veya cam malzeme bükülmeye başlarsa, üretim verimi düşer. LCD panellerin üretiminde kullanılan substratlar büyük boyutludur ve termal olarak hassastır; bu yüzden dikkatsiz kontrol yöntemleri kabul edilemez. Biz de bu termal profilin stabil ve tekrarlanabilir olmasını sağlamak için kendi kızılötesi ısıtıcılarımızı geliştirdik.
Teknik Açıdan Önemli Olanlar
Kızılötesi ısıtıcılarımız, geniş alanlı substratlar üzerinde milimetre altı düzeyinde bir düzenlilik sağlar. Ayrıca, pişirme yüzeyindeki sıcaklık stabilitesi ±0.1°C civarındadır. Kuvars-halojen emisör dizileri hızlı tepki veren yoğun ısı akışı sağlar ve bu akış sıkı bir şekilde kontrol edilir; böylece ayarlanan sıcaklık değerleri sürekli olarak belirlenen toleranslar içinde kalır.
Temiz Oda Uyumluluğu
Temiz oda standartlarına uyumluluk en baştan itibaren göz önünde bulundurulmuştur. Düşük gaz salınımına sahip malzemeler, mühürlü bağlantı noktaları ve optimize edilmiş hava akışı sayesinde partikül sayısı düşük tutulur ve kirlenme riski engellenir. Termal döngüler sırasında hiçbir partikül oluşmaz; bu da fotoresist katmanlarını korur.
Neden İşe Yarıyor?
Litografide pişirme işlemi bağımsız bir adım değildir; tüm sürecin gerçekleşmesini sağlar. Yüksek termal düzenlilik, çizgi uzunluklarındaki değişiklikleri azaltır ve tekrarlanabilirlik sayesinde her parti arasında tutarlılık sağlanır. Hızlı termal tepki süresi, döngü süresini kısaltırken aşırı ısınmayı engeller. Yüksek verimlilik ise her panel için gereken enerji miktarını azaltır. Sonuç olarak daha az yeniden işleme ihtiyacı, daha az atık oluşur ve güvenilir bir üretim kapasitesi elde edilir.
Bilinmesi Gerekenler
Isıtıcılar kompakt ve modüler yapıdadır; ancak entegrasyonu basit bir şekilde yapılamaz. Lambanın verimini odanın geometrisine uygun hale getirmek, pirometreyi camın emisivitesine göre kalibre etmek ve hava akışını istenen düzeyde sabitlemek gereklidir. Substrat yığını ve konveyör hızı için PID ayarlarını optimize etmek amacıyla kısa bir test süreci planlanmalıdır.