На етапі випалювання фоторезисту необхідно встановити правильні параметри термічного процесу. Якщо температура в певній зоні змінюється або скло починає деформуватися, це призводить до порушення стабільності процесу та зниження якості продукції. У заводах з виробництва LCD-панелей основа є великою за розміром, чутливою до температури, і не терпить недбалого керування. Ми створили інфрачервоні нагрівачі, які забезпечують стабільність термічних умов під час процесу випалювання.
Що є важливим з технічної точки зору
Наші інфрачервоні нагрівачі забезпечують однорідність температури на всій поверхні основи, навіть на великих площах. Стабільність температури на поверхні становить ±0,1°C. Кварцово-галогенні емітери забезпечують високу інтенсивність теплового потоку, що дозволяє швидко досягати бажаної температури. Крім того, процес керування є дуже точним, тож значення температури залишається в межах допусків протягом усього процесу випалювання.
Сумісність з умовами чистих приміщень класу 1–100 передбачена з самого початку. Матеріали з низьким рівнем випаровування, герметичні з’єднання та оптимізована система подачі повітря допомагають уникнути забруднення. Відсутність утворення частинок під час термічних процедур захищає фоторезист.
Чому це ефективно
У процесі літографії етап випалювання є не окремим кроком, а ключовим елементом всього процесу. Стабільна температура допомагає зменшити варіації параметрів панелі та скорочує час виконання процесу. Швидка реакція нагрівачів дозволяє скоротити час виконання процесу без перевищення заданих значень температури. Висока ефективність нагрівачів зменшує споживану енергію на одну панель. У результаті значно менше необхідності у коригуваннях, менше відходів та більш стабільна продуктивність.
Що потрібно знати
Нагрівачі є компактними та модульними, але їх інтеграція не є простою – необхідно підлаштувати їх роботу під геометрію приміщення, налаштувати пірометр відповідно до емісії скла та забезпечити правильну подачу повітря для досягнення бажаної однорідності температури. Необхідно також провести короткий тестовий запуск для налаштування параметрів PID для вашої конструкції та швидкості подачі панелей.