На виробничій лінії достатньо лише 0,1°C зміни температури під час процесу висушування фотополімеру, щоб зіпсувати цілу партію 300-мм пластин. Для запобігання таким змінам були створені інфрачервоні лампи для нагріву проміжних елементів.
Суть технології полягає у використанні короткочастотних інфрачервоних випромінювачів із кварцовими елементами швидкої реакції. Це дозволяє досягти швидкого та локалізованого нагріву. Рівномірність температури на поверхні проміжного елемента становить ±0,1°C, а точність контролю температури залишається в межах допустимих значень. Максимальна довжина хвилі підбирається так, щоб енергія потрапляла саме туди, де це необхідно – у сам фотополімер – без пошкодження прилягаючих діелектриків. Лампа працює 24/7, не створює жодних частинок, а рівень чистоти повітря залишається на рівні від класу 1 до класу 100.
У процесі літографії важлива стабільна температура. Процес м’якого висушування допомагає видалити розчинники та сформувати потрібну структуру фотополімеру. Процес жорсткого висушування фіксує цю структуру перед процесом етчингу. Обидва процеси вимагають стабільної температури. Лампа забезпечує стабільну температуру на поверхні проміжного елемента, що дозволяє уникнути змін ширини ліній та появи небажаних ефектів після процесу обробки.
Результатом є вищий рівень продуктивності, менша кількість необхідних корекцій, а також можливість точного контролю якості. Крім того, споживання енергії знижується, оскільки лампа нагріває лише потрібну зону, а не всю поверхню плати.
Є кілька практичних порад. Під час встановлення необхідно забезпечити точну оптичну налаштування та правильне розміщення лампи в чистій кімнаті, щоб рівень частинок залишався на необхідному рівні. Інтенсивність світіння лампи налаштовується відповідно до конкретних характеристик проміжних елементів; тож, якщо ці характеристики змінюються, може знадобитися коригування налаштувань.
Необхідно заздалегідь спланувати інтеграцію лампи з системою літографії та контролером температури. Як тільки все буде налаштовано правильно, процес може продовжуватися без перешкод.