Перехід від використання гарячого повітря до безозонових інфрачервоних ламп у процесі напівпровідникової обробки
Якщо ви все ще використовуєте гаряче повітря для обробки напівпровідників, ймовірно, ви витрачаєте занадто багато часу на очікування.
Перехід на використання безозонових інфрачервоних ламп означає не просто використання іншого типу тепла. Йдеться також про усунення непотрібного часу очікування.
Проблема очікування
Уявіть собі, як працює система з використанням гарячого повітря: спочатку потрібно нагріти повітря, а потім це повітря має нагріти сам елемент, який потрібно обробити. Це своєрідний „посередник“. Ви змушені чекати кілька хвилин, поки камера досягне потрібної температури.
Інфрачервоні лампи усувають цього „посередника“ – енергія потрапляє безпосередньо на елемент, який потрібно обробити. Це дозволяє скоротити час нагрівання з кількох хвилин до кількох секунд. Це наче просто увімкнення світлового перемикача.
Проблема озону
Ось тут починаються проблеми. Більшість стандартних інфрачервоних ламп випромінюють світло в діапазоні 185 нм. Проблема полягає у тому, що це призводить до утворення озону. У чистій кімнаті озон є справжньою проблемою – він руйнує ущільнювачі та окислює елементи, які мають залишатися нетканими. Щоб уникнути цього, використовуються фільтровані філаменти та спеціальні кварцові оболонки. Таким чином можна отримати високу температуру без утворення хімічних забруднень.
Правильна налаштування
Не можна просто підключити ці лампи та все. Вони потребують значної кількості енергії, тож необхідно точно контролювати напругу – інакше лампи швидко зіпсуються.
Ще одне застереження: ці лампи стають дуже гарячими. Якщо ви хочете отримати максимальну температуру, не використовуйте дешеві кріплення – вони можуть деформуватися. Краще використовувати керамічні кріплення, які витримують високі температури.
Недоліки
Ніщо не є ідеальним. Інфрачервоне випромінювання є дуже швидким, але воно є напрямленим. На відміну від гарячого повітря, яке огортає елемент з усіх боків, інфрачервоне випромінювання нагріває лише ті частини, які може „бачити“. Якщо ваші елементи мають складну форму чи глибокі заглиблення, будуть утворюватися холодні зони.
Вам доведеться приділити час на налаштування розташування ламп чи використання відбивачів. Це вимагає певних коректив, але як тільки ви досягнете рівномірного нагріву всієї поверхні, швидкість обробки буде вартувати кожної витраченої секунди.