فیبرک فلور پر، فوٹوریزسٹ کو گرم کرنے کے دوران صرف 0.1°C کا فرق بھی پورے 300 ملی میٹر والے ویفروں کو تباہ کرنے کے لئے کافی ہے۔ اس مسئلے سے بچنے کے لئے، انٹرپوزر کو گرم کرنے کے لئے انفراریڈ لیمپ استعمال کئے گئے ہیں۔
تکنیکی طور پر، یہ لیمپ مختصر لہر درجہ کے انفراریڈ تابکاروں پر مبنی ہے، جن میں تیز ردِعمل دینے والے کوارٹز عناصر بھی شامل ہیں؛ اس طرح تیز رفتاری سے حرارت پیدا ہوتی ہے۔ انٹرپوزر کی سطح پر درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر رہتا ہے، اور درجہ حرارت کی استحکام بھی بہت اچھی ہے۔ لہر کی طول موج کو فوٹوریزسٹ کی خصوصیات کے مطابق ترتیب دیا گیا ہے، تاکہ توانائی صرف وہیں جائے جہاں ضروری ہے – یعنی فلم میں – اور نیچے موجود ڈائی الیکٹرک مواد کو نقصان نہ پہنچے۔ یہ لیمپ 24/7 کام کرتا ہے، کوئی ذرات پیدا نہیں کرتا، اور کلاس 1 سے کلاس 100 تک کے ماحول میں بھی بہترین کارکردگی دیتا ہے۔
لیتھوگرافی میں، ہم جانتے ہیں کہ “سافٹ بیک” سے حل کاروں کو باہر نکالا جاتا ہے، اور “ہارڈ بیک” سے پیٹرن کو محفوظ کیا جاتا ہے۔ دونوں عملوں کے لئے مستحکم اور یکساں درجہ حرارت ضروری ہے۔ یہ لیمپ انٹرپوزر کے درجہ حرارت کو مستحکم رکھتا ہے، جس سے لائنوں کی چوڑائی میں تغیرات کم ہوتے ہیں، اور ڈویلپمنٹ کے بعد کوئی نقصان نہیں پہنچتا۔
نتیجے کے طور پر، پیداوار میں اضافہ ہوتا ہے، دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہوتی ہے، اور CD کنٹرول بھی بہتر ہوتا ہے۔ توانائی کی کھپت بھی کم ہوتی ہے، کیوں کہ لیمپ صرف مطلوبہ علاقے کو ہی گرم کرتا ہے، نہ کہ پورے ہاٹ پلیٹ کے علاقے کو۔
چند عملی نکات: انسٹالیشن کے لئے احتیاط سے آپٹیکل الائنمنٹ اور کلین روم ماحول ضروری ہے، تاکہ ذرات کی تعداد مناسب رہے۔ آؤٹ پٹ انٹینسٹی کو خاص انٹرپوزر استیکس کے لئے کیلیبریٹ کیا گیا ہے، لہذا اگر استیک تبدیل ہو جائے، تو سیٹپوائنٹ پروفائل کو فوری طور پر ایڈجسٹ کرنے کی ضرورت ہے۔
ابتدائی انضمام کے لئے، لیتھوگرافی کلسٹر اور تھرمل کنٹرولر کے درمیان انٹرفیس کو پہلے ہی منصوبہ بند کر لینا ضروری ہے۔ جب یہ دونوں ایک دوسرے سے ہم آہنگ ہو جاتے ہیں، تو عمل آسان ہو جاتا ہے۔