MEMS ویفرز کو بغیر کسی گندگی کے خشک کرنا
جب MEMS سینسروں کی تیاری کی جاتی ہے، تو سب سے بڑی پریشانی یہ ہوتی ہے کہ کہیں کوئی گرد ذرہ یا کیمیائی مادہ ویفر کو خراب نہ کر دے۔ لیکن ان سطحوں سے نمی اور حل کو دور کرنا بہت مشکل ہے۔
لمبے عرصے تک لوگ صرف فورسڈ-ایئر اوونز کا استعمال کرتے رہے۔ لیکن ان کا مسئلہ یہ ہے کہ یہ بہت زیادہ توانائی استعمال کرتے ہیں، اور یہ ہوا کے بہاؤ پر منحصر ہیں۔ کلین روم میں ہوا کا بہاؤ دراصل گرد ذرات کو وہاں جمع ہونے کا موقع دیتا ہے۔
اسی لیے ہم نے شارٹ-ویو انفراریڈ (IR) ہیٹرز کا استعمال شروع کیا۔ ہم ہوا کو گرم کرنے کے بجائے تابکاری کا استعمال کرتے ہیں۔ اس طرح کوئی فین نہیں ہوتا، کوئی ہوا کا بہاؤ نہیں ہوتا، اور آلودگی بھی بہت کم ہوتی ہے۔
یہ کیسے کام کرتا ہے؟
سوچیں کہ IR ہیٹرز کمرے کی ہوا کی پرواہ ہی نہیں کرتے۔ یہ سیدھے پانی کے مولیکیولوں اور حل کے باقیات پر اثر کرتے ہیں۔ فوٹونز سطح پر ٹکراتے ہیں، جس سے مولیکیول حرکت کرنے لگتے ہیں، اور مائع فوراً غائب ہو جاتا ہے۔ یہ عمل بہت تیزی سے ہوتا ہے۔ آپ بڑے دھاتی ڈبوں کو گرم کرنے کے لیے بے تحاشا توانائی ضائع نہیں کرتے؛ بلکہ صرف ویفر کو ہی گرم کرتے ہیں۔ یہ توانائی کے استعمال کا بہترین طریقہ ہے۔
“سبز” پہلو
صنعت لیڈ-فری اور “سبز” معیارات کی جانب بڑھ رہی ہے، اور دراصل یہی بہترین وقت ہے۔ IR ہیٹنگ اسی رجحان کے مطابق ہے۔ آپ کو ان پرانے کیمیائی مواد کی ضرورت ہی نہیں ہے۔ ہیٹنگ عنصر سے کوئی VOCs خارج نہیں ہوتے۔ یہ تو صرف صاف توانائی ہے جو ایک جگہ سے دوسری جگہ منتقل ہوتی ہے۔
خامیاں (کیوں کہ کچھ بھی بے عیب نہیں ہے)
لیکن ایک مسئلہ یہ ہے کہ اعلیٰ شدت والے IR لیمپ بہت طاقتور ہوتے ہیں – جو رفتار کے لحاظ سے تو بہترین ہے، لیکن یہ بہت خطرناک بھی ہو سکتے ہیں۔ اگر آپ بغیر سوچے سمجھے بجلی جلائیں، تو اچانک درجہ حرارت میں اضافے سے ویفر خراب ہو سکتا ہے۔ اسے روکنے کے لیے آپ کو ایک مضبوط PID کنٹرولر کی ضرورت ہے، تاکہ بجلی کی مقدار کو کنٹرول کیا جا سکے۔
اور ایک اور احتیاطی بات: ہیٹرز پر موجود کوارٹز کے آویزن بہت نازک ہوتے ہیں۔ اگر آپ غلطی سے انہیں چھو دیں، تو لیمپ خراب ہو سکتا ہے۔
ہم نے ان سسٹمز کو ایسے ڈیزائن کیا ہے کہ یہ آپ کے پرانے کنویکشن سسٹمز میں بھی استعمال کیے جا سکیں۔ اس طرح آپ کے ویفرز تیزی سے تیار ہوں گے، اور عمل بھی زیادہ صاف رہے گا۔ بس یقین کریں کہ آپ کا کولنگ سسٹم لیمپ سے نکلنے والی گرمی کو سنبھال سکے، تو آپ کامیاب ہو جائیں گے۔