Ngăn chặn các bóng đèn hồng ngoại gây hỏng các tấm wafer của bạn
Trong những nhà máy sản xuất chip bán dẫn với công suất lớn, việc bóng đèn hồng ngoại bị hỏng thực sự là một thảm họa. Không chỉ gây ra gián đoạn trong quá trình sản xuất, mà còn khiến các tấm wafer bị nhiễm bẩn, và toàn bộ sản phẩm phải bị loại bỏ. Thật là một tình huống tồi tệ.
Đó chính là lý do tại sao chúng tôi thiết kế các thành phần hồng ngoại trong các buồng kiểm soát một cách cẩn thận như vậy.
Bảo vệ lớp kính
Chúng tôi không chỉ dựa vào một lớp kính duy nhất để bảo vệ các tấm wafer. Chúng tôi sử dụng cấu trúc hai lớp kính. Dù rằng phần tử làm nóng được làm từ thạch anh có độ tinh khiết cao, nhưng chúng tôi vẫn sử thêm một lớp bảo vệ nữa – tức là một ống thạch anh đặc biệt.
Hãy coi đó như một biện pháp bảo hiểm. Nếu sợi dây tóc bên trong bị hỏng hoặc ống thạch anh bị nứt do tác động của nhiệt độ, thì lớp bảo vệ này sẽ giúp giữ lại các mảnh kính vỡ và ngăn không cho khí halogen thoát ra. Nhờ vậy, các tấm wafer vẫn giữ được độ sạch, không bị nhiễm bẩn.
Xử lý vấn đề nhiệt độ
Khi sử dụng các bóng đèn với công suất cao, sẽ xuất hiện những điểm nóng. Đó chính là nơi mà lớp kính trở nên quá mềm và cuối cùng bị hỏng. Để tránh điều này, chúng tôi cân bằng mật độ năng lượng trên toàn bộ ống thạch anh, nhằm tránh tình trạng quá nóng ở một điểm nào đó.
Tuy nhiên, bạn cũng cần chú ý đến việc điều chỉnh nhiệt độ. Bộ điều khiển PID của bạn cần được thiết lập chính xác. Nếu nhiệt độ vượt quá mức mong muốn chỉ 10%, thì tuổi thọ của bóng đèn sẽ bị giảm đáng kể.
Chi tiết về cách lắp đặt
Chúng tôi sử dụng các konektor tiêu chuẩn để đảm bảo sự kết nối chắc chắn. Tại sao ư? Bởi vì các kết nối lỏng lẻo sẽ gây ra hiện tượng phóng điện, và hiện tượng này sẽ làm hỏng ống thạch anh. Khi lắp đặt, hãy kiểm tra kỹ áp lực tiếp xúc giữa các bộ phận. Việc này chỉ mất khoảng 2 giây, nhưng nó sẽ giúp bạn tránh được nhiều rắc rối sau này.
Một điều cần lưu ý: lớp bảo vệ này sẽ làm giảm một chút ánh sáng hồng ngoại. Bạn có thể cần tăng mức công suất lên 3–5% để đạt được tốc độ làm nóng tương tự như khi không có lớp bảo vệ.
Đó là một sự hy sinh nhỏ, nhưng nó vẫn tốt hơn nhiều so với việc phải lau sạch các mảnh kính vỡ trên các tấm wafer.