Trong quy trình sản xuất, chỉ cần có sự chênh lệch nhiệt độ 0,1°C trong quá trình nung phim quang học thì toàn bộ số wafer có kích thước 300mm sẽ bị hỏng. Do đó, các loại đèn sấy bằng tia hồng ngoại được thiết kế để ngăn chặn sự chênh lệch nhiệt độ này ngay từ đầu.
Đây chính là yếu tố quan trọng nhất trong thiết kế này. Các đèn này sử dụng bộ phát tia hồng ngoại tần số cao, kết hợp với các linh kiện thạch anh có khả năng phản ứng nhanh, giúp tạo ra nguồn nhiệt tập trung và nhanh chóng. Độ đồng đều của nhiệt độ trên bề mặt wafer duy trì ở mức ±0,1°C, và độ lặp lại của nhiệt độ cũng được kiểm soát chặt chẽ. Bước sóng tối ưu của đèn được điều chỉnh sao cho năng lượng chiếu vào chính vùng cần xử lý – tức là lớp phim quang học – mà không làm ảnh hưởng đến các lớp vật liệu điện môi bên dưới. Đèn hoạt động 24/7, không tạo ra bất kỳ hạt bẩn nào, và đảm bảo môi trường làm việc sạch sẽ, từ cấp độ 1 đến cấp độ 100.
Trong quy trình in ấn, chúng ta biết rằng việc sấy phim quang học giúp loại bỏ các chất dung môi và định hình cấu trúc của lớp phim quang học. Việc nung phim quang học giúp cố định cấu trúc đó trước khi tiến hành quy trình khắc. Cả hai bước này đều đòi hỏi nhiệt độ ổn định và đồng đều. Những chiếc đèn này giúp duy trì nhiệt độ ổn định trên bề mặt wafer, từ đó giảm thiểu sự biến đổi về độ rộng của các đường nét trên wafer, đồng thời ngăn chặn sự xuất hiện của các vết bẩn sau khi phim quang học được xử lý.
Kết quả là tỷ lệ sản phẩm tốt tăng lên, số lượng sản phẩm cần sửa chữa giảm đi, và việc kiểm soát độ chính xác của kích thước wafer cũng được đảm bảo. Ngoài ra, mức tiêu thụ năng lượng cũng giảm xuống, vì đèn chỉ làm nóng vùng cần xử lý, chứ không phải toàn bộ bề mặt wafer.
Một vài lưu ý thực tế: Việc lắp đặt đèn đòi hỏi phải có sự căn chỉnh quang học chính xác và việc lắp đặt trong môi trường sạch để đảm bảo không có hạt bẩn nào xuất hiện. Cường độ ánh sáng của đèn được điều chỉnh phù hợp với từng loại wafer; vì vậy, nếu cấu trúc wafer thay đổi, có thể cần điều chỉnh lại thông số kỹ thuật của đèn.
Hãy lên kế hoạch tích hợp đèn này với hệ thống in ấn và bộ điều khiển nhiệt từ trước. Khi mọi thứ được kết hợp ăn khớp với nhau, quy trình sản xuất sẽ diễn ra suôn sẻ.