Hãy ngừng lãng phí nhiệt lượng: Sự thật về quá trình xử lý wafer
Khi xử lý wafer, bạn đang quản lý một nguồn năng lượng có hạn. Nếu sử dụng bóng đèn để xử lý wafer mà không có bộ phản xạ phù hợp, thì một nửa lượng năng lượng sẽ bị lãng phí. Đó là sự lãng phí hoàn toàn vô ích.
Chúng tôi sử dụng các bộ phản xạ chuyên dụng để đưa lại nguồn năng lượng hồng ngoại vào wafer. Nhờ vậy, nhiệt lượng được giữ lại ở chỗ cần thiết, giúp quá trình xử lý diễn ra nhanh hơn.
Điều quan trọng nhất chính là góc chiếu sáng.
Hình dạng của bộ phản xạ quyết định cách mà nhiệt lượng chiếu vào bề mặt wafer. Chúng tôi dành nhiều thời gian để tối ưu hóa hình dạng của bộ phản xạ – thường sử dụng hình dạng parabol hoặc elip – để đảm bảo rằng nhiệt lượng được phân bố đều.
Tại sao? Bởi vì những điểm nóng quá mức sẽ gây hại cho wafer. Chúng làm biến dạng wafer và phá hủy quá trình xử lý.
Và đây là điều quan trọng: nếu góc chiếu sáng sai chỉ vài độ thôi, bạn sẽ gặp phải những vùng lạnh. Hầu hết mọi người cố gắng khắc phục vấn đề này bằng cách tăng công suất đèn lên. Đó là một sai lầm. Việc này chỉ khiến đèn bị hỏng và giảm tuổi thọ của chúng mà thôi.
Các bộ phận và dữ liệu liên quan
Chúng tôi sử dụng các vật liệu bằng nhôm hoặc vàng có độ tinh khiết cao. Những vật liệu này có khả năng xử lý tốt các bước sóng ngắn và trung bình. Quan trọng hơn, chúng có thể chịu được những dao động nhiệt độ liên tục.
Trong các nhà máy hiện đại, chúng tôi không thể chỉ “đặt đèn vào giá đỡ rồi bỏ mặc”. Chúng tôi kết nối các hệ thống này với bộ điều khiển kỹ thuật số để theo dõi mức tiêu thụ năng lượng và nhiệt độ. Điều này giúp chúng ta phát hiện kịp thời khi bộ phản xạ bị oxy hóa hoặc đèn bị hỏng, tránh việc lãng phí toàn bộ lô sản phẩm.
Những rủi ro cần lưu ý
Tuy nhiên, cũng có những rủi ro. Khi tập trung quá nhiều năng lượng vào một không gian nhỏ, nhiệt độ sẽ tăng lên rất nhanh. Bạn không thể chỉ cắm đèn vào giá đỡ rồi hy vọng mọi thứ sẽ ổn. Bạn cần có hệ thống tản nhiệt hiệu quả để bảo vệ các bộ phận điện tử.
Nếu hệ thống tản nhiệt không hoạt động tốt, nhiệt độ cao sẽ làm hỏng lớp phủ bảo vệ của bộ phản xạ. Khi đó, hiệu suất xử lý sẽ giảm sút, và bạn lại phải bắt đầu từ đầu.