Trong quy trình sản xuất, việc có sự chênh lệch nhiệt độ chỉ 0,5 độ trên bề mặt nung cũng có thể gây ra nhiều vấn đề. Quy trình nung mềm và nung cứng giúp xác định các kích thước quan trọng của wafer; không thể tranh luận về yếu tố nhiệt độ trong quy trình này. Chúng tôi đã thiết kế cảm biến nhiệt dành riêng cho mục đích này: nó đo nhiệt độ tại vị trí mà wafer cảm nhận được, chứ không phải tại vị trí mà bộ gia nhiệt cho là nên có nhiệt độ đó.
Những yếu tố quan trọng Cảm biến này được thiết kế để đáp ứng các yêu cầu về kiểm soát nhiệt độ trong quy trình sản xuất bán dẫn: độ chính xác ±0,1°C trên toàn bộ bề mặt xử lý, với thời gian phản ứng nhanh sau khi cửa được mở hoặc đóng. Cảm biến hoạt động 24/7 mà không tạo ra bất kỳ hạt bụi nào, đồng thời vẫn duy trì mức độ sạch trong phòng sản xuất ở mức Class 1–100. Độ lặp lại của các chỉ số nhiệt độ cũng rất cao, giúp đảm bảo tính ổn định của quy trình sản xuất. Các giao diện kết nối của cảm biến cũng được thiết kế để hoạt động hiệu quả trong môi trường sản xuất.
Tại sao nó lại hiệu quả trong quy trình in ấn bán dẫn? Trong quy trình in ấn bán dẫn, cảm biến này giúp bảo vệ chất lượng sản phẩm. Việc kiểm soát chặt chẽ quá trình nung mềm giúp duy trì độ ổn định của độ nhớt và lực tác động lên lớp vật liệu trên wafer; việc kiểm soát chính xác quá trình nung cứng giúp xác định chính xác các kích thước quan trọng của wafer trước khi tiến hành quy trình khắc. Kết quả là ít xảy ra sai sót trong quy trình sản xuất, ít cần phải sửa chữa, và hiệu suất sản xuất được đảm bảo. Ngoài ra, việc kiểm soát chặt chẽ nhiệt độ còn giúp tiết kiệm năng lượng – ít cần phải sử dụng nhiệt độ cao để bù đắp, và cũng ít xảy ra tình trạng hỏng hóc do sai lệch nhiệt độ. Vì cảm biến được thiết kế để hoạt động liên tục, nên bạn không phải lo lắng về tình trạng ngừng máy do lỗi kỹ thuật.
Những yếu tố quan trọng trong quá trình lắp đặt Bạn cần chú ý đến khối lượng nhiệt và vị trí lắp đặt cảm biến. Cảm biến đo nhiệt độ tại vị trí mà wafer tiếp xúc, vì vậy chiều sâu lắp đặt và cách kết nối cảm biến với bề mặt xử lý cần được xác định chính xác trong quá trình kiểm tra thiết bị. Thời gian cần thiết để điều chỉnh các thông số PID và xác nhận rằng cảm biến hoạt động đúng như mong muốn cũng khá ngắn. Một khi cảm biến được lắp đặt đúng cách, nó sẽ hoạt động hiệu quả – miễn là bạn coi nó là một phần không thể thiếu của quy trình sản xuất.