Trong quy trình sản xuất, sự thay đổi nhiệt độ trong quá trình sấy wafer hoặc nung phim quang học không gây ra những hư hỏng nghiêm trọng. Thay vào đó, nó dẫn đến giảm tỷ lệ sản phẩm tốt, sự phân bố không đồng đều của nhiệt độ, và nhiều công việc sửa chữa cần được thực hiện. Trong điều kiện kiểm soát nhiệt độ chặt chẽ, không thể có chỗ cho các điểm nóng, các vùng lạnh, hay các giá trị nhiệt độ thay đổi từ lần này sang lần khác.
Những yếu tố quan trọng Chúng tôi chế tạo máy sưởi bằng tia hồng ngoại hai ống dựa trên các bộ phát tia cuarzo sóng ngắn. Các bộ phát này truyền năng lượng một cách trực tiếp và nhanh chóng, giúp duy trì nhiệt độ ổn định. Thiết kế hai ống này giúp tăng mật độ năng lượng mà không chiếm nhiều diện tích, vì vậy nó có thể được đặt ngay trong các khu vực xử lý wafer, các module phủ chất bám/khử chất bám, và các khu vực gia nhiệt. Ở vùng xử lý, độ đồng đều của nhiệt độ được duy trì ở mức ±0,1°C. Hệ thống điều khiển được thiết kế sao cho nhiệt độ luôn ổn định qua từng lần xử lý. Khả năng tương thích với môi trường sạch cũng là một ưu điểm của thiết bị này. Vật liệu và cấu trúc của thiết bị giúp giảm thiểu sự tạo ra các hạt bụi, điều này rất quan trọng trong môi trường loại 1–100.
Tại sao nó lại hữu ích trong công nghiệp chúng ta? Quá trình sấy và làm sạch wafer diễn ra nhanh hơn vì tia hồng ngoại tác động trực tiếp lên wafer, thay vì làm nóng toàn bộ không khí xung quanh. Trong quy trình xử lý phim quang học, thiết bị này giúp duy trì nhiệt độ ổn định, từ đó cải thiện chất lượng bề mặt wafer và giảm các khuyết tật do sự không đồng đều về nhiệt độ gây ra. Đối với quy trình đóng gói, thiết bị này giúp đảm bảo quá trình khử chất bám diễn ra đồng đều, từ đó giúp các chất kết dính hoạt động một cách ổn định. Bạn cũng có thể tiết kiệm năng lượng vì thiết bị chỉ làm nóng vùng cần xử lý mà thôi. Độ tin cậy của thiết bị cũng đã được chứng minh: thiết bị có thể hoạt động liên tục hơn 5.000 giờ mà tỷ lệ suy giảm hiệu suất chỉ dưới 5%.
Những điều bạn cần biết Tia hồng ngoại chỉ có thể tác động trong phạm vi nhìn thẳng. Các vật liệu kim loại có thể phản chiếu nhiệt, và các bộ phận khác cũng có thể tạo ra bóng tối, dẫn đến việc xuất hiện các điểm nóng hoặc lạnh. Do đó, vị trí đặt đèn cần được xem xét kỹ lưỡng dựa trên các yếu tố quang học và hình học. Chúng tôi cung cấp hướng dẫn chi tiết về cách lắp đặt, và khuyến nghị nên điều chỉnh vị trí đèn một lần duy nhất khi lắp đặt. Sau đó, đèn sẽ hoạt động ổn định theo đúng thông số đã thiết lập, và bạn chỉ cần thay thế đèn theo định kỳ.