停止在晶圆处理过程中浪费热量
说实话，大多数晶圆加热装置其实都非常浪费能源。如果使用的是普通石英灯，那么热量会向360度各个方向散开。这意味着一半的电能都被用来加热机器的框架，而非真正用于加热硅片。这不仅浪费了电力，还会给冷却系统带来负担。
我们通过使用金涂层来解决这个问题，让热量能够精准地传递到需要加热的位置。
为什么选黄金呢？
因为黄金擅长反射红外线。通过在反射器上添加一层黄金涂层，就可以防止红外线散失，使其重新照射到晶圆表面。这样做的目的并非仅仅让温度升高，而是实现更精确的温度控制。如此一来，就不必提高功率就能让热能更集中地作用于目标区域。
节省电费
在设计系统时，人们希望尽快达到目标温度。金涂层反射器可以避免能量泄漏，从而减少每块晶圆所需的功率。如果使用数百盏灯来处理大量晶圆，这些微小的节能效果加起来就能大幅降低每月的用电成本。
需要注意的一点
不过，这种设计也有其缺点：由于热量过于集中，相关部件的反应速度会变得非常快。因此，需要密切监控PID参数的调整。如果控制系统反应不够迅速，就可能导致温度过高，从而损坏晶圆。不过好消息是，这些反射器是可以直接替换的。你无需对整个系统进行重新设计，只需更换旧的铝制或抛光钢制部件即可。这样，设备的温度就能得到更好控制，风扇也不必以最大功率运转，整体能耗也会降低。当然，还要确保传感器能够承受更高的温度。