
在半加热过程中减少碳排放(无需再为温度控制发愁)
制造半导体需要大量热量。但如果你曾在工厂里工作过,就会知道有多少能量被白白浪费掉了。传统的电阻式加热器其实只是用来给整个设备壳体加热的工具,这显然是一种浪费。
如果我们真想实现绿色工厂的目标,那就必须停止对空气的加热,转而直接对晶圆进行加热。这时,镀金短波红外线灯就派上用场了。
镀金层的神奇作用
普通石英灯会将热量向各个方向散发。而在石英表面加上一层薄薄的黄金后,就能有效地反射掉那些不必要的热量。长波辐射会被反射回灯丝处,而短波红外线则可以直接照射到晶圆上。这样,整个设备就不会过热,热量就能精准地作用于需要的地方。这种方式既高效又节能。
加快处理速度
由于这些灯能在小范围内产生大量热量,因此可以大幅缩短加热或固化过程的时间。速度非常快。这样一来,每块晶圆所需的电能也会减少。我们设计的这些灯还能快速切换开关状态,从而保持精确的控制效果。
不过有一点需要注意:**要确保良好的冷却系统。**因为镀金层会集中释放大量热量,如果通风不良的话,设备后部仍可能变得非常烫。如果冷却系统不够完善,灯丝就有可能烧毁。那可不是什么好事。
缩小加热区域
最棒的是,你可以缩小加热区域,不再依赖周围空气的加热效果。这是减少单位产品二氧化碳排放的最有效方法。对于大多数人来说,这些灯完全可以替代原来的卤素灯。只要确保电源能够承受这些高功率灯所需求的电压和电流即可。