用于工厂的R7s红外线加热灯管

在光刻车间里，光阻层的温度控制是至关重要的，这一点是无法商量的。哪怕温度出现1度的偏差，都可能影响关键尺寸的精确度，进而降低成品率。R7s型红外线加热灯正是为了解决这一问题而设计的。 核心优势 R7s能够利用短波红外线快速加热晶圆，几秒钟内就能将温度控制在理想范围内。这样，整个晶圆表面的温度均匀性...