Wie man MEMS-Wafern trocknet, ohne Chaos zu verursachen
Beim Herstellen von MEMS-Sensoren möchte man auf keinen Fall, dass Staubkörner oder chemische Rückstände die Wafer beschädigen. Doch das Entfernen von Feuchtigkeit und Lösungsmitteln von diesen Oberflächen ist eine Herausforderung.
Lange Zeit wurden dazu Lufterhitzer verwendet. Das Problem: Sie verbrauchen viel Energie und benötigen dazu Luftzirkulation. In einem Reinraum führt dies dazu, dass weitere Partikel in die Umgebung gelangen.
Deshalb haben wir auf Kurzwellen-Infrarotheizer umgestellt. Anstatt die Luft zu erhitzen, nutzen wir Strahlung. Es gibt keine Lüfter, keine zirkulierende Luft – und somit auch weniger Verunreinigungen.
Wie es funktioniert
Stellen Sie sich vor: Infrarotheizer kümmern sich nicht um die Luft im Raum. Sie zielen direkt auf die Wassermoleküle sowie Lösungsmittelrückstände ab. Die Photonen treffen auf die Oberfläche, lassen die Moleküle vibrieren – und das Flüssigkeit verschwindet einfach. Das geschieht fast sofort. Man verschwendet keine Energien damit, einen großen Metallkasten zu erhitzen; man heizt nur die Wafer. Das ist eine viel effizientere Art, Energie zu nutzen.
Der „grüne“ Aspekt
Die Industrie bewegt sich in Richtung bleifreier und umweltfreundlicherer Standards – und das ist wirklich notwendig. Infrarotheizer passen perfekt in dieses Konzept. Man benötigt keine umstrittenen chemischen Zusätze wie bei herkömmlichen Trockenmitteln. Es entstehen keine VOCs beim Einsatz der Heizelemente. Es handelt sich dabei einfach um saubere Energie, die von Punkt A zu Punkt B transportiert wird.
Die Nachteile (Denn nichts ist perfekt)
Aber es gibt auch Nachteile. Hochintensive Infrarotlampen sind zwar äußerst leistungsstark – was gut für die Geschwindigkeit ist – doch sie können auch schädlich sein. Wenn man die Leistung plötzlich erhöht, kann das dazu führen, dass die Wafer beschädigt werden. Um das zu verhindern, braucht man einen guten PID-Regler, der die Leistung reguliert.
Und noch ein Hinweis: Die Quarzkörper der Heizer sind sehr zerbrechlich. Ein falscher Umgang während des Wechsels der Werkzeuge kann dazu führen, dass die Lampe beschädigt wird.
Wir haben diese Systeme so gestaltet, dass sie direkt in Ihre bestehenden Konvektionsanlagen eingebaut werden können. So können Sie Ihre Wafer schneller bearbeiten – und der Prozess wird viel sauberer ablaufen. Stellen Sie sicher, dass Ihr Kühlsystem die Hitze aus den Lampengehäusen bewältigen kann – dann ist alles in Ordnung.