Wie man MEMS-Wafern trocknet, ohne Chaos zu verursachen Beim Herstellen von MEMS-Sensoren möchte man auf keinen Fall, dass Staubkörner oder chemische...

Bei der Herstellung von Solarzellen ist die Stabilität des Fotolacks unverzichtbar. Schon ein einziger Feuchtigkeitstropfen nach der Reinigung kann...

In der Produktion ist das Spülen noch nicht das Ende des Prozesses. Es handelt sich dabei vielmehr um die letzte Station, bevor Kontaminationen...

Reinigen Sie die Wafer, und die Oberfläche ist makellos – aber auch instabil. Jegliche Restfeuchtigkeit führt unweigerlich zu Defekten, die sich...

Auf der Fertigungsebene hängt die Ausbeute von der Temperaturkontrolle ab. Lässt man den Softbake auch nur um ein paar Grad schwanken, verliert man...