Im Lithografiebereich führt schon eine minimale Bewegung des SEM-Stages dazu, dass die CD-Messungen ungenau werden. Zudem hängt die Wiederholgenauigkeit der Fotolackbehandlung von der thermischen Stabilität unter dem Strahl ab. Was man braucht, ist daher ein Heizer, der nicht nur Wärme abgibt, sondern diese auch präzise kontrolliert.
Was technisch wichtig ist:
Wir haben den SEM-Heizer aus Materialien mit niedrigem Gasausstoß sowie einer Halogen-/Quarzlampe konstruiert – Dadurch wird eine schnelle Reaktion gewährleistet, genau dort, wo sie benötigt wird. In der Messzone bleibt die Homogenität der Wafer bei ±0,1 °C, und die Wiederholgenauigkeit des Setpoints liegt bei ±0,05 °C. Das System arbeitet ohne Störungen durch Partikel, womit die Anforderungen der Reinraumklasse 1–100 erfüllt werden, ohne dass die Integrität des Raumes beeinträchtigt wird. Die Stromversorgung ist so eingestellt, dass stabile Temperaturen erreicht werden – dadurch bleiben die Kontrollwerte für die Linienbreite sowie die Wiederholgenauigkeit konstant. Die Zuverlässigkeit über 24 Stunden wird durch kontrollierte thermische Zyklen sowie zuverlässige elektrische Schnittstellen gewährleistet – dadurch bleiben unplanmäßige Ausfälle auf Null.
Warum das im praktischen Einsatz wichtig ist:
In der SEM-Messung führt eine thermische Drift direkt zu Messfehlern – und damit zu verschwendeten Ressourcen. Mit diesem Heizer bleibt die Temperatur des Stages unter dem Strahl konstant, sodass die CD-Homogenitätswerte statistisch stabil bleiben. Dadurch sind weniger Nachmessungen nötig, weniger Nacharbeit erforderlich – und der Produktionsplan bleibt erhalten. Zudem wird weniger Energie verbraucht, da die Wärme nur dort angebracht wird, wo sie benötigt wird. Die schnelle Erwärmung verkürzt außerdem die Zeit zwischen den Bearbeitungen der Wafer.
Was man planen muss:
Die Installation muss präzise erfolgen – es müssen ausreichende mechanische Abstände sowie eine ordnungsgemäße thermische Isolation gewährleistet werden, sonst entstehen parasitäre Wärmequellen. Die Kompatibilität hängt von der Geometrie des Raums sowie von der Schnittstelle zum Sensorsystem ab – daher überprüfen wir vor Ort, ob alles passt, und justieren anschließend den Regelkreis. Planen Sie außerdem einen kurzen Testbetrieb ein, um die PID-Konstanten für Ihre spezielle SEM-Konfiguration sowie den Waferstapel festzulegen.