جلوگیری از خراب شدن ویفرهای شما توسط لامپهای مادون قرمز
در فرآیندهای تولید نیمههادی در مقیاس بالا، خرابی لامپهای مادون قرمز یک فاجعه است. مشکل فقط مربوط به زمان توقف عملیات تولید نیست؛ اگر لوله کوارتزی روی ویفر سیلیکونی پاره شود، منجر به آلودگی فوری واحدهای تولیدی خواهد شد. این وضعیت واقعاً آشفتهکننده است.
دقیقاً به همین دلیل است که ما اجزای مربوط به لامپهای مادون قرمز را به این شکل طراحی میکنیم.
نگه داشتن شیشه در جای مناسب
ما فقط به یک لایه شیشه اعتماد نمیکنیم؛ بلکه از ساختار دولایه استفاده میکنیم. البته، عنصر گرمایشی از کوارتز با خلوص بالا ساخته شده است، اما برای جلوگیری از خرابی، یک لایه حفاظتی اضافی نیز وجود دارد؛ در واقع، این لایه مانند یک غلاف ویژه برای کوارتز عمل میکند.
میتوان آن را مانند یک بیمه در نظر گرفت؛ اگر رشتههای الکتریکی داخل لوله خراب شوند یا لوله به دلیل شوک حرارتی پاره شود، این غلاف تکههای شیشه را جذب کرده و گاز هالوژن را نیز مهار میکند. در نتیجه، ویفرهای شما تمیز باقی میمانند؛ هیچ ذره آلایندهای وجود نخواهد داشت.
مقابله با گرما
وقتی از لامپهایی با توان بالا استفاده میکنیم، نقاط گرم خاصی ایجاد میشود؛ در این نقاط، شیشه بیش از حد نرم میشود و در نهایت خراب میشود. برای جلوگیری از این امر، ما توان الکتریکی را در سراسر لوله توزیع میکنیم تا هیچ نقطهای بیش از حد گرم نشود.
اما شما نیز نقش مهمی در این زمینه دارید؛ کنترلر PID شما باید به درستی تنظیم شود. اگر دمای مورد نظر را حتی ۱۰٪ بیشتر کنید، عمر لامپ کوتاه خواهد شد.
جزئیات مربوط به تنظیمات
ما از اتصالات استاندارد برای اطمینان از اتصال صحیح استفاده میکنیم؛ چرا؟ زیرا اتصالات ضعیف باعث ایجاد جرقه میشوند، و جرقهها منجر به خرابی لوله میشوند. هنگام اتصال کابلها، حتماً فشار تماس را بررسی کنید؛ این کار فقط دو ثانیه طول میکشد، اما میتواند از مشکلات بعدی جلوگیری کند.
نکته مهمی که باید به آن توجه کنید این است که این غلاف حفاظتی مقدار کمی از نور مادون قرمز را مسدود میکند؛ بنابراین احتمالاً باید توان لامپ را ۳ تا ۵٪ افزایش دهید تا زمان رسیدن به دمای مورد نظر یکسان باشد.
این یک تضاد کوچک است، اما بهتر از تمیز کردن تکههای شیشه از روی ویفر است.