گذار از استفاده از هوای گرم به استفاده از لامپهای مادون قرمز بدون اسید ازون در فرآیندهای نیمههادی
اگر هنوز از روش استفاده از هوای گرم برای فرآوری نیمههادیها استفاده میکنید، احتمالاً زمان زیادی را صرف انتظار میکنید.
تغییر به استفاده از لامپهای مادون قرمز بدون اسید ازون، فقط به معنای استفاده از نوع دیگری از حرارت نیست؛ بلکه به معنای رفع زمان انتظار طولانی است.
مشکل انتظار
فکر کنید که چگونه هوای گرم عمل میکند: ابتدا باید هوا را گرم کرد، سپس آن هوا باید سطح قطعه کار را گرم کند. این یک واسطه است؛ بنابراین مجبوریم دقایق زیادی را صرف انتظار برای رسیدن دمای مناسب به اتاق فرآوری کنیم.
لامپهای مادون قرمز این واسطه را حذف میکنند؛ انرژی مستقیماً از لامپ به قطعه کار منتقل میشود. در نتیجه، زمان لازم برای گرم شدن قطعه کار از دقایق به ثوانی کاهش مییابد. این کار مانند درگیر کردن کلید روشنایی است.
مشکل اسید ازون
نکته مهم اینجاست که اکثر لامپهای مادون قرمز استاندارد، تشعشعاتی در بازه ۱۸۵ نانومتر تولید میکنند. مشکل اینجاست که این تشعشعات باعث تولید اسید ازون میشوند.
در اتاقهای پاک، اسید ازون یک مشکل بزرگ است؛ زیرا باعث فرسودگی قطعات و اکسید شدن قسمتهایی میشود که باید کاملاً سالم بمانند. برای حل این مشکل، از فیلامنتهای فیلترشده و غلافهای کوارتزی ویژه استفاده میشود. در نتیجه، میتوان از حرارت بالا استفاده کرد، بدون اینکه مشکلات شیمیایی ایجاد شود.
تنظیم صحیح سیستم
نمیتوانید فقط این لامپها را وصل کنید و کار تمام شده بدانید. این لامپها نیاز به توان زیادی دارند؛ بنابراین باید ولتاژ مورد نیاز را به درستی تنظیم کنید؛ در غیر این صورت، لامپها خیلی سریع خراب خواهند شد.
همچنین، این لامپها بسیار داغ میشوند؛ اگر میخواهید حداکثر حرارت را داشته باشید، از محافظهای ارزانقیمت استفاده نکنید؛ زیرا آنها خراب میشوند. اگر میخواهید لامپها مدت طولانی کار کنند، باید از محافظهای سرامیکی بادوام استفاده کنید.
معایب
هیچ چیز کامل نیست. لامپهای مادون قرمز بسیار سریع عمل میکنند، اما تأثیر آنها فقط در جهتی خاص است.
برخلاف هوای گرم که سطح قطعه کار را کاملاً گرم میکند، لامپهای مادون قرمز فقط بخشهایی را که میتوانند ببینند، گرم میکنند. اگر قطعات شما شکل عجیبی داشته باشند، نقاط سردی در سطح قطعه کار وجود خواهد داشت.
بنابراین، باید زمانی را صرف طراحی مناسب الگوی قرارگیری لامپها یا استفاده از بازتابندهها کنید. البته این کار کمی زمانبر است، اما وقتی که پوشش یکنواختی بر روی سطح قطعه کار ایجاد شود، سرعت عمل لامپها ارزش تمام تلاشها را خواهد داشت.