دیگر نباید وقت خود را صرف روشهای بیفایده برای گرم کردن ویفرها کنیم؛ چرا که استفاده از لامپهای مادون قرمز UHP روشی منطقیتر است.
بیایید درباره نحوه گرم کردن ویفرها صحبت کنیم. برای مدت طولانی، روش رایج، استفاده از هوای گرم بوده است. اما اگر تجربه کار در کارخانههای تولیدی را داشته باشید، میدانید که این روش چقدر ناکارآمد است. در واقع، این روش به معنای گرم کردن هوا و امیدواری به این است که هوا وظیفه انتقال حرارت به ویفر را انجام دهد.
این روش بسیار آهسته است؛ همچنین، تأخیر زمانی زیادی وجود دارد.
لامپهای مادون قرمز UHP این وضعیت را تغییر میدهند. این لامپها به جای استفاده از هوا، از انرژی تابشی برای گرم کردن ویفر استفاده میکنند. این روش بسیار سریعتر است.
تفاوت سرعت بسیار چشمگیر است. سیستمهای استفاده از هوای گرم دارای «انرژی حرارتی» زیادی هستند؛ بنابراین، زمان لازم برای گرم شدن یا سرد شدن آنها بسیار طولانی است. این موضوع باعث میشود زمان لازم برای تولید هر دسته از ویفرها افزایش یابد. اما با استفاده از لامپهای UHP، این فرآیند تقریباً بلافاصله انجام میشود. ما این لامپها را طوری طراحی کردهایم که توان زیادی را در فضای کوچکی جمع کنند؛ بنابراین، میتوانید در عرض چند ثانیه، دمای مورد نظر را به دست آورید.
وقتی که زمان انجام این فرآیند کاهش مییابد، بهرهوری ساعتی نیز افزایش مییابد. و بهتر از همه این است که نیازی به فضای بیشتری در اتاقهای تمیز برای انجام این کار نیست.
همچنین، روش استفاده از هوای گرم باعث ایجاد ذرات مختلف در اطراف ویفر میشود؛ حتی با استفاده از بهترین فیلترها، همچنان ذراتی در اطراف ویفر باقی میمانند. این موضوع خطرناک است. ما از کوارتز مرغوب برای ساخت لامپهای خود استفاده میکنیم تا از خروج گازهای مضر جلوگیری شود. عدم وجود جریانات هوای با سرعت بالا، باعث کاهش تعداد ذراتی میشود که باید در جای نامناسبی قرار بگیرند. در واقع، محیط تمیزتری خواهید داشت.
البته، باید صادقانه بگویم که انرژی تابشی یک روش جادویی نیست؛ این روش دارای جهتگیری مشخصی است. هوا اطراف قطعه را احاطه میکند، اما انرژی مادون قرمز مانند یک فلاشلایت عمل میکند. اگر تنظیمات لامپ کمی اشتباه باشد، تفاوت دماها ایجاد خواهد شد؛ یعنی نقاط سردی در اطراف ویفر ایجاد خواهد شد. برای اطمینان از پخش یکنواخت حرارت، باید تنظیمات لامپ را به درستی انجام داد.
اما اگر سیستم کنترلی مناسبی داشته باشید که بتواند سرعت تغییر توان لامپ را کنترل کند، نتایج بسیار خوبی خواهید داشت. سرعت گرم شدن ویفر افزایش مییابد، محیط تمیزتر میشود، و فرآیند تولید نیز با سرعت مورد نظر انجام خواهد شد.