Arrêtez que les lampes ne détruisent votre lot de produits
Dans le domaine du chauffage des semi-conducteurs, une lampe qui explose représente un vrai cauchemar. Il ne s’agit pas seulement de l’arrêt du processus de chauffage. Lorsqu’un tube en quartz éclate sous une charge excessive, il devient en réalité comme une grenade, projetant des morceaux de verre et des débris métalliques sur la surface des wafers. Un seul éclat suffit pour gâcher tout votre lot de produits.
Nous avons passé beaucoup de temps à trouver des moyens d’éviter cela.
Protéger les wafers
Nous commençons par utiliser du quartz fusionné de haute pureté, car il peut résister aux alternances de chauffage et de refroidissement sans se briser. Mais nous ne nous arrêtons pas là. Nous ajoutons également un revêtement protecteur autour de la lampe. On peut le considérer comme un filet de sécurité : si le filament intérieur tombe en panne, les morceaux de verre restent piégés à l’intérieur du revêtement. Ainsi, ce qui pourrait être une catastrophe totale se transforme en une simple panne contrôlée. Vous perdez bien une lampe, mais vous sauvez vos wafers.
Gérer la chaleur
Les lampes à haute puissance deviennent extrêmement chaudes. Si le système de refroidissement ne parvient pas à contrôler l’augmentation de la température ambiante, les extrémités de la lampe se surchauffent. Cela crée une grande pression sur les joints de la lampe. Pour y remédier, nous avons modifié l’emplacement du filamento. Nous veillons ainsi à ce que la chaleur atteigne les wafers, et non les parties structurelles de la lampe. Cela empêche le verre de se ramollir ou de se briser à l’endroit le plus vulnérable.
Le compromis nécessaire
Nos lampes sont conçues pour être remplacées facilement, afin que vous n’ayez pas à attendre des heures avant de pouvoir continuer le processus. Mais il y a un petit compromis à faire : ces revêtements protecteurs, bien qu’ils servent à protéger les wafers, empêchent une petite partie de la radiation infrarouge de passer. Il peut donc être nécessaire d’augmenter légèrement les paramètres de puissance pour maintenir les vitesses de chauffage souhaitées. C’est un compromis acceptable. Nous préférons que vous passiez deux secondes à ajuster les paramètres, plutôt que deux jours à nettoyer des wafers endommagés.