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एमईएमएस सेंसर वेफरों को सुखाने हेतु हीटर

एमईएमएस सेंसर वेफरों को सुखाने हेतु हीटर

MEMS वेफरों को बिना किसी गंदगी के सूखाना जब MEMS सेंसर बनाए जाते हैं, तो सबसे बड़ी समस्या यह होती है कि धूल या रासायनिक पदार्थ वेफर को नष्ट कर सकते...
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