MEMS वेफरों को बिना किसी गंदगी के सूखाना
जब MEMS सेंसर बनाए जाते हैं, तो सबसे बड़ी समस्या यह होती है कि धूल या रासायनिक पदार्थ वेफर को नष्ट कर सकते हैं। लेकिन उन सतहों से नमी एवं विलायकों को हटाना बहुत ही कठिन है।
लंबे समय तक लोगों ने केवल फोर्स्ड-एयर ओवनों का ही उपयोग किया। लेकिन ऐसे ओवन बहुत ऊर्जा खपत करते हैं, एवं हवा के द्वारा ही काम करते हैं। क्लीनरूम में हवा फैलाने से वहाँ धूल कण और भी अधिक जमा हो जाते हैं।
इसीलिए हमने शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड (IR) हीटरों का उपयोग शुरू किया। इन हीटरों में हवा को गर्म करने की आवश्यकता ही नहीं है; बल्कि वे विकिरण के द्वारा ही काम करते हैं। ऐसे में कोई फैन नहीं होता, न ही हवा चलती है… इससे संदूषण भी कम हो जाता है।
यह वास्तव में कैसे काम करता है?
IR हीटर, कमरे में मौजूद हवा की चिंता ही नहीं करते। वे सीधे पानी के अणुओं एवं विलायकों पर ही कार्य करते हैं। फोटॉन उन सतहों पर पड़कर अणुओं को कंपित कर देते हैं… और तरल पदार्थ तुरंत ही गायब हो जाता है। ऐसा लगभग तुरंत ही हो जाता है। ऐसे में बड़े धातु बॉक्सों को गर्म करने हेतु ऊर्जा की आवश्यकता ही नहीं है… बल्कि केवल वेफर को ही गर्म किया जाता है। यह ऊर्जा का बहुत ही बेहतर उपयोग है।
“हरित” दृष्टिकोण
उद्योग अब लीड-फ्री एवं “हरित” मानकों की ओर बढ़ रहा है… और वाकई, यही सही है।
IR हीटर भी इसी दिशा में ही काम करते हैं। ऐसे हीटरों में किसी भी रासायनिक पदार्थ की आवश्यकता ही नहीं है… एवं हीटिंग तत्वों से कोई VOC भी नहीं निकलता। यह तो बस एक स्वच्छ ऊर्जा ही है, जो एक बिंदु से दूसरे बिंदु तक जाती है।
कुछ कमियाँ… (क्योंकि कुछ भी परफेक्ट नहीं होता)
लेकिन इन हीटरों में कुछ कमियाँ भी हैं। उच्च-तीव्रता वाले IR हीटर बहुत ही शक्तिशाली होते हैं… जो गति हेतु तो अच्छा है… लेकिन ये खतरनाक भी हो सकते हैं।
अगर अचानक ही ऊर्जा बढ़ जाए, तो वेफर खराब हो सकता है। ऐसी स्थिति से बचने हेतु एक अच्छा PID कंट्रोलर आवश्यक है… ताकि ऊर्जा का उपयोग नियंत्रित रहे।
एक और चेतावनी… हीटरों पर लगे क्वार्ट्ज कवर बहुत ही नाजुक होते हैं… थोड़ी सी लापरवाही से ही वे टूट सकते हैं।
हमने ऐसी प्रणालियाँ ऐसे ही डिज़ाइन की हैं… ताकि वे आपकी पुरानी प्रणालियों में भी आसानी से इस्तेमाल हो सकें। ऐसे में आपके वेफर जल्दी ही तैयार हो जाएँगे… एवं आपकी प्रक्रिया भी अधिक स्वच्छ रहेगी। बस ध्यान रखें कि आपकी शीतलन प्रणाली हीटरों से निकलने वाली गर्मी को संभाल सके… तभी सब कुछ ठीक रहेगा।