目を刺すような眩しさのない暖房：IP65対応のヒーターの正しい使い方 バスルームは、暖房ライトを使うには最悪の環境です。至る所に蒸気があり、湿度も高く、特に目が敏感な赤ちゃんを含む人々が、その光の直下に立っています。注意しなければ、ライトが短絡してしまったり、まるで太陽の光を直視しているような状態...

ウェーハ処理における熱の無駄遣いを止めましょう。 正直に言って、ほとんどのウェーハ加熱装置は、実に無駄が多いのです。 標準的な石英ランプを使用している場合、熱は360度全方向に放出されます。つまり、高価な電力の半分が、シリコンに直接当たるのではなく、装置自体を温めるだけに使われているのです。これは...

ファブ内では、フォトレジストの熱管理は、交渉の対象になるものではありません。わずか1度の温度変動でも、重要な寸法の制御を乱し、結果として歩留まりが低下してしまいます。R7sの赤外線ヒーターは、このような温度変動を根本から防ぐために設計されています。 内部で何が重要か R7sは短波長の赤外線をウェー...

製造現場では、ご存知の通り、わずか0.5度の温度変動だけで、ウェハの露光条件が変わってしまいます。もしエッジ部分の加熱を強くしすぎると、良品が廃棄物になってしまいます。ウェハ加熱装置は、高温環境下でも安定して機能しなければならず、手作業に頼ることなく、クリーンルーム内の静かな環境の中で正確な温度制...

ファブフロアにおいて、ソフトベイクの温度安定性は単なる好みではなく、クリティカルディメンションを維持するか、ウェーハがスクラップ化するかの境界線である。温度が1.5℃ずれるだけで、フォトレジストのプロファイルマージンが消失し、ベイク中に発生した粒子は次層の汚染を引き起こす。これらの故障モードを根本...