IRランプ用アルミニウム反射板
なぜIRランプの絶縁試験にこだわるのか? ほとんどの人は、アルミニウム製の反射器を見ると、単なる熱を反射するものだと思ってしまいます。しかし実際には、そのアルミニウム製の部分こそが、加熱装置全体の核心部分なのです。 高ワット数のランプを扱う場合、電流が流れる部分とアルミニウム製の部分が接続される地...
ウェーハ用高精度IRセンサー
IRランプが壊れると、すべてが台無しになります。
半導体製造の現場では、ランプが壊れるのは単なる小さなトラブルではありません。それは本当の悪夢です。
例えば、大量生産の最中に石英製の容器が割れてしまったとします。すると、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハの上に降り注ぎます。これにより...